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维普资讯 第29卷 第2期 焊 接 学 报 Vo1．29 No．2 2008年 2月 TRANSACTIONSOFTHECHINAWELDING INSTITUTION February 2008 超声键合装置中劈刀稳态振动的试验建模 程 宝， 韩 雷 (中南大学 机电工程学院，长沙 410083) 摘 要：利用PSV一400一M2(1．5Mnz)高频型扫描式激光多普勒测振仪，对超声键合 装置中受正弦激励 、超声加载作用下的键合工具(劈刀)，在不同松紧度下的稳态振动进 行了连续扫描测试。结果表明，当劈刀连接的松紧度发生改变时，其稳态振动表现出不 确定性 ；同一松紧度下振动形态中出现单节点，但不同松紧度下节点出现的位置不同； 劈刀末端的速度振幅并不是人们期望的那样是最大。此外，基于弹性梁振动的基本理 论对劈刀的稳态振动进行了探讨，得到其振动的近似模型。 关键词：超声键合 ；激光多普勒测振仪 ；扫描；松紧度 中图分类号：TB559 文献标识码：A 文章编号：0253—360X(2008)02—0040—05 程 宝 0 序 言 通过对施加在拧紧工具上的砝码重量 G进行调节， 见图2，螺栓孑L直径 D，：1．5lnnl，变幅杆末端直径 超声振动系统是超声键合中的核心部件，它主 D2：8．2lnnl。 要包括换能器、变幅杆和键合工具。人们对换能器 和变幅杆作了许多研究 ¨卫J，而对键合工具在超声键 合装置中的振动特性研究较少。文献 [3，4]曾利用 激光 多普勒测振仪 (1aserdopplevibrometer，简称 LDV)，对键合工具的振动模态作过测试分析，提供 了一种获取模态振型的方法。当其它条件不变，仅 改变键合工具(楔形劈刀)与变幅杆连接的松紧度， 会对超声换能系统的非线性动力学行为、电学特性、 超声键合压力等产生影响L5-7J。因此，对超声键合 装置中劈刀的稳态振动进行试验研究，将为优化设 图1 劈刀与变幅杆连接示意图 计超声振动系统、提高超声能量的利用率提供参考。 Fig．1 Couplingsystem ofbonding toolandhom 1 试验方法 1．1 劈刀振动模态的测试分析 试验的对象是深圳微迅公司生产的U3000型粗 铝丝引线键合机，采用单一简谐信号驱动超声换能 系统，在超声加载作用下，使用激光多普勒测振仪对 劈刀不同连接松紧度时的稳态振动进行连续扫描测 试。劈刀与变幅连接示意图见图 1。其中，劈刀安 装长度 Z是指劈刀处于换能杆下面部分的长度；连 接松紧度是指劈刀与变幅杆连接螺栓的拧紧程度， 图2 预紧力施加示意图 Fig．2 Pre-tgihtrmssstrengthdiagram 收稿B期：2007—05—09 基金项目：基嘉础研究发展计篙划资助项目2(项003CB7o516720223)0国家重点 根恨据曜砰弹性1r土梁罗振锨T一-)-上,II：rJ,基墨本冲假1双设吸，，将忖超虺声尸振佩驯动水系统L 维普资讯 第2期 程 宝，等：超声键合装置 中劈刀稳态振动的试验建模 41 中倒装连接的劈刀结构视为伯努力一欧拉梁，当仅 频响函数，不同测点同阶模态参数(阻尼、固有频率、 考虑其横向弯曲振动，可得到劈刀的固有振动为 固有振型等)理论上都是相同的。由每个测试点而 得到的