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低温液相法制备ZnO 花-球微纳米结构1 张强，李涛，刘长松，许桢 青岛理工大学机械工程学院，山东青岛 (266033) E-mail: csl@ 摘 要：采用六水硝酸锌和六次甲基四胺作反应剂，基于氢氟酸（HF ）的调控作用，利用 低温液相技术制备了ZnO 花-球微纳米结构。X 射线衍射分析证实产物确实为ZnO （而不是 ZnF(OH) ），其主衍射峰为（0002 ）。扫描电镜观察表明，该ZnO 微纳米结构具有三维特 征，由边缘厚度仅数十纳米、宽度为数微米的薄片状纳米花瓣构成。ZnO 之所以具有这种 微球三维结构，可能与其(0002)晶面的生长过程受到反应溶液中某些物种的严重抑制有关。 关键词：ZnO；三维微纳米结构；液相法；氢氟酸；氧化物半导体 中图分类号：TF123.2+5 ，TN304.2+1 1. 引 言 作为一种重要的宽禁带半导体材料，ZnO 具有优异的光/ 电性能,被广泛应用作传感器、