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真空工艺与实验技术 一，高频火花检漏仪检漏方法 二，高频火花检漏仪的检漏方法 1,火花法: 火花法只适用于玻璃系统或器件的检漏.检漏时用放电尖端找寻漏孔. 若没有漏孔,放电尖端产生的火花束在玻璃表面上不规则地跳跃,并向四周发散; 若有漏孔时,因大气经过漏孔进入被检真空系统,当放电尖端移到漏孔处时,就将此处气体电离,被电离气体的电导率远大于玻璃的电导率,所以分散的火花束就集中起来形成一个细长明亮的火花束,其尾端正好指向漏孔.这样便可断定被检系统或器件是否有漏孔及漏孔所在的位置. 2,放电法 放电法适用于玻璃系统的检漏,也适用于金属系统的检漏.但用于金属系统的检漏时,需借处玻璃规管或盲管. 放电法是利用低真空中气体放电的颜色进行检漏的.当检漏仪放电尖端的火花打在真空度为几千至1Pa的真空系统的玻璃壁上时,因感应会使系统内的气体产生辉光放电.放电颜色与气体有关,各种气体或蒸气在真空中放电的颜色如下表: 检漏开始时,系统内是空气,其辉光放呈紫红色.此时,若蘸有乙醚,酒精,丙酮,汽油或其他一些易挥发的碳氢化合物的棉花在被检系统的外表面涂擦或喷射时,如有漏孔,则以上之物质的蒸气会通过漏孔进入被检系统,立刻使辉光颜色变成蓝色,据此可以确定是否有漏孔及漏孔的所在位置. 高频火花检漏仪适用的压力范围为1000Pa~10 -1Pa,其最小可检漏率q L min为10 -3~10 -4Pa.m3/s 三,使用高频火花检漏仪应注意的事项 1,在检漏前,应将玻璃表面或内壁粘附(或夹杂)的金属粉屑等消除干净.否则由于金属粉屑的存在会造成错误的信号,或在金属粉屑处将系统烧穿. 2,在检漏过程中,要适当调节火花束,使束电流不要过强;在找寻漏孔时,不可在一处停顿时间过长否则系统会因局部受火花灼热而被打穿. 3,不可将放电尖端移到易燃烧物质附近,以防引进技术起火灾. 4,避免人体触及放电尖端,以防触电. 5,在用高频火花检漏仪检仪漏时,要考虑放电火花对真空测量的影响.放电火花能使去气不良的系统壁放气,因而使真空系统的真空度降低;反之,如果真空系统去气良好,则放电火花会激起真空系统内的气体电,因而使真空系统的真空度提高. 真空材料之蒸散型非掺氮吸气剂 特征和用途： 蒸散型非掺氮吸气剂是将钡铝镍吸气合金粉压入金属容器中而构成。此种产品有两大系列：环状系列与碟状系列。 环状系列产品具有在蒸散过程中放气量小，总蒸时间短的特点。 碟状系列除了具有环状系列的优点以外，还具有蒸散后的钡膜面积小的特点。此类产品可用于HID灯，太阳能集热管，以及各种真容器件中，它可吸收有害气体，维持器件真空度，延长器件的使用寿命。 基本特性和相关数据要求： 起蒸时间5S 总蒸时间10S 得钡量10mg 尺寸11.2*9.15*10 注意事项: 封装好的吸气剂必须存放在干燥清洁的环境中,具相对湿度应低于75%,温度低于35度,无有害的腐蚀性气体.产品开封后,宜及时使用,一般暴露在大气中不应超过24H,否则必须真容储存或储于干燥器中. 真空材料之非蒸散型吸气剂 特征和用途： 锆铝吸气剂是将锆铝吸气剂合金粉压入金属容器中或涂覆在金属带上而构成.此类吸气剂可与蒸散型吸气剂并用,从而增强吸气效果,以可在不允许使用蒸散型吸气剂的品件中发挥其特有的作用,此类产品有带状,碟状,环状,带型吸气剂采用的是先进的衬带工艺,其吸气性能显著高于直接轧制的产品,此类产品可用于真空电子器件和金卤灯等电光源中. 基本特性和相关数据要求: 活性表面mm2/50/25,锆铝合金含量100/50/90mg,尺寸:11*6.8*1.1 吸气剂上方恒定压力:8*10-4PA,试验流导:37.1.cm3 S-1 激合瀑度：900度，激活时间：30S，工作温度： 激合条件：可通过高频感应线圈，热辐射或其他任何方法加热激活。锆铝合金推荐激活条件为900度*30S，最大起始压强国1PA 注意事项： 当锆铝吸气剂用于金属卤化灯的充氮夹层中吸收有害气体时不能加热激活并且必须使使吸气剂的工作温度维持在400+-50度，这样才能使此类产品吸收杂质气体的同时不吸收氮气。 封装好的吸气剂必须存放在干燥清洁的环境，具相对湿度应低于75%,温度低于35度,无有害的腐蚀性气体.产品开封后,宜及时使用,一般暴露在大气中不应超过24H,否则必须真容储存或储于干燥器中. * *2008/12/20/赵泽鑫 珠海瑞光照明电器有限公司* ○★ ○ 瑞光投影仪 培 训 教 程(产品知识类) * *2009/01/02/赵泽鑫 珠海瑞光照明电器有限公司* 一,高频火花检漏仪的特点: