第二章常用传感器.ppt

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汽车电子控制技术 重庆大学机械工程学院汽车系张伟 第二章 常用传感器 基本内容 控制系统所需传感器 温度传感器 热电阻、热电偶 压力传感器 压阻式、静电容式 空气流量传感器 气体传感器 氧传感器,空燃比传感器 速度传感器 空间格栅式 压差式、热线风速仪 加速度传感器 压电、应变、电容式 冲撞传感器 电容式、压阻式、压电晶体 2.1 概述(各系统所需传感器) 2.2 温度传感器 2.2.1 热电阻 对传感器材料的要求: ⑴温度系数大,线性好; ⑵性能稳定; ⑶使用温度范围宽; ⑷系数设置方便; ⑸线材加工方便。 最合适的材料:铂(Pt)、铜(Cu) ㈠铂电阻:Rt=R0(1+At+Bt2) (0~630℃) R100/R0=1.3916 铂电阻主要规格如下: 公称电阻:(50 ?),100 ? 精度等级:0.15级,0.2级,0.5级 额定电流:2mA,5mA,(10mA)(0.15级及0.2级用2mA ) 封装形式:护管式、玻璃封装式(400℃)、陶瓷封装(600℃) ㈡半导体热敏电阻 与金属热电阻比,温度系数大、反应速度快、价格便宜,但线性差。 常用的有:NTC、PTC、CTR 等 NTC(Negative Tempreature Coefficient thermister)主要 由Mn,Co,Ni,Fe等金属氧化组 成,可通过改变成分调整电 阻值及温度特性。 R=Roexp[B(1/T-1/T0] 其中,B:热敏系数, 一般2000~6000K 2.2.2 热电偶 热电偶由两种不同的金属线相接触而构成,当基准电和测量点间有温差时,就会得到输出电位。其结构简单、可靠,测量范围广,可测量微小区域的温度(用的丝线细),响应速度快,但输出信号小(几十μv/ ℃),需注意测量电路的漂移和噪声。 热电偶测量的是温差,需对基准点的温度进行补偿: ⑴将基准点放置在冰点槽中;⑵用热电阻测量基准点的温度,并用桥式电路进行自动补偿。 封装形式:⑴保护管(不锈钢,3~30mm):强度高、耐热、耐腐蚀;⑵铠装(金属管,0.2,0.5~8mm):金属细管和热电偶芯间填充有MgO,绝缘、密封,抗腐蚀和老化,反应快,耐热,耐振,可适当弯曲。 2.3 压力传感器 基本构成:⑴变形部分(压力→应变); ⑵变换部分(应变→电信号); ⑶信号处理部分(信号放大和调整). 检测原理:⑴物性型(压阻效应); ⑵结构型(电极面积或距离). 2.3.1 压阻式压力传感器 压阻效应:结晶硅受到应力作用,单位电阻值会发生变化. 扩散半导体式:在硅基片的中央制有膜片,在膜片上扩散形成压阻应变片,当在压力作用下,产生应变,使应变片阻值发生变化,测出阻值的变化量即可得到压力值. 特点:①选择扩散位置可制出电桥其他臂;②灵敏度高(为金属应变片的几十~几百倍);③一致性好,无需粘接,无畸变、滞后;④温度变化对压阻系数影响大,需补偿;⑤先将膜片固定在硅机体上,再一起固定在金属机体上. 构造和测量原理:在膜片表面扩散成四个应变片,其中两个沿半径方向布置(Radial Gauge Resister):Rr1和Rr2;其中两个沿切线方向布置(Tangential Gauge Resister):Rt1和Rt2,膜片受到压力作用时会产生变形, 在膜片表面上生成的应力是径向σr切向σt的合成,在微小范围内变形与应力可视为线性: σr,σt=k·ΔP (其中, k:膜片的压力应变系数;ΔP:压差) 如按图(a)那样布置,应变电阻会受到二个方向应力σr和σt的作用,由于压阻效应使径向应变电阻和切向应变电阻的阻值发生变化,可近似用下面的式子表示: ΔRr / Rr≈πl σr+ πtσt ΔRt/ Rt≈πl σt+ πtσr 其中, Rr, Rt:应力为零时径向和切向应变电阻的阻值 ΔRr, ΔRt:应力作用后径向和切向应变电阻的阻值变化量 πl, πt:纵向和横向压阻系数(l:longitudinal,t:transverse) πl0, πt0 接成桥式电路时的输出电压: e=(Rr- Rt)E/(Rr+ Rt)≈k πl Δp 制造过程: ⑴将n型硅片的两面加工成镜面; ⑵扩散形成应变电阻和电子元件; ⑶蒸着形成电极; ⑷内面加工出凹形截面形成膜片; ⑸固定到与硅的热膨胀系数接近的玻璃等基体上 ⑹装入外壳中、连出引线、充填硅胶 2.3.2静电容式压力传感器 概要:由可动电极 (膜片)和绝缘基板上两个面对面的电极组成,被测压力使膜片变形,和固定电极间的间隙发生变化,引起静电容变化,可得与压力一一对应的容量差,其特性取决于膜片部分的结构(特别是电极间的间隙),为了获得稳定性好的传感器,精密加工和装配就尤其重要。 构造和测量原理:以压差传感器为例,作

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