光学微结构超精密多轴铣削加工技术.pdfVIP

2014年7月 机床与液压 Ju1．2014 第42卷 第 l3期 MACHINE TOOL HYDRAULICS Vo1．42No．13 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．13．007 光学微结构超精密多轴铣削加工技术 焦洋洋 ，王素娟 ，刘强 (1．广东工业大学机电学院，广东广州510006； 2．广东省微纳加工技术与装备重点实验室，广东广州510006) 摘要：采用单点金刚石飞刀加工可以直接加工出具有纳米级的表面粗糙度和亚微米级形状精度的光学微结构元件而不 需要后续处理。通过超精密飞刀加工微V沟槽的实验 ，分析了主轴转速、进给速度、切削深度和切削行间距对微v沟槽加 工精度的影响，并对切削参数进行优化。最后，利用优化后的切削参数加工出微 V沟槽结构。实验结果显示，超精密飞刀 加工微V沟槽可达到满足光学微结构加工精度的要求。 关键词：光学微沟槽；飞刀加工；切削参数优化；加工精度 中图分类号：TH74 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2014)13—028—4 FabricationTechnologyofOpticalM icrostructuresinUltra-p·recision Multi-axisM illing JIAOYangyang ，WANGSujuan ，LIUQiang (1．SchoolofElectromechanicalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology， GuangzhouGuangdong510006，China； 2．GuangdongProvincialKeyLaboratoryofMicro—nanoManufacturingTechnoloyg andEquipment， GuangzhouGuangdong510006，China) Abstract：Fly·cuttingwithsinglecrystaldiamondcuttingtoolwasusedforthefabricationofopticalmicrostructurecomponents withnano-surfacefinishandsub—micronofrm accuracywithouttheneedforanysubsequentpostpolishing．Byexperimentalfabrication ofmicroV-grooveinuhra-precisionfly-cutting，theeffectsofthespindlespeed，feedrate，cutdepthandcutdistancefactorsaffecting machiningaccuracyofmicroV-groovewereanalyzed，andthecuttingparameterswereoptimized．A microV-groovearraywaspro— cessedwithusingofoptimizedcuttingp~ameters．TheexperimentalresultsshowthatthemachiningofV—groovestructuresinuhra·pre- cisionfly—cuttingmeetstherequirementoftheopticalmicrostructure． Keywords：Opticalmicrostructures；Fly·cutting；Cuttingparametersoptimization；Machiningaccuracy 光学微结构元件就是指大小在微结构量级的光 就比较容易实现。金刚石飞刀加工通常利用金刚石 学元件 ，光电产品中常用