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2014年 1月 机床与液压 Jan．2014 第42卷 第2期 MACHINE T0OL ＆ HYDRAULICS Vo1．42No．2 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．02．016 一 种用于液体静压导轨的高精密液压站设计 赵午云 ，郭勇 (1．中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900； 2．四川大学化学工程学院过程装备与安全工程系，四川成都 610065) 摘要：液体静压导轨是精密超精密加工机床的重要功能单元，液压站是液体静压导轨正常工作的必要辅助单元。液体 静压导轨要保持高的精度 ，液压站必须能够为静压导轨提供压力非常稳定的润滑油输入。设计一种用于液体静压导轨的高 精密液压站，该液压站利用变频电机驱动精密齿轮泵供给润滑油 ，利用全闭环反馈调节装置控制润滑油的稳压输出。实际 测量证明：该液压站的输出压力稳定精度可达 4-0．05％，应用于超精密机床上的液体静压导轨取得了良好的效果。 关键词：液压站 ；液体静压导轨；精密机床 中图分类号：TH137．9 文献标识码 ：A 文章编号：1001—3881(2014)2—045—3 DesignoftheUltra-precisionHydraulicStationforHydraulicStaticPressuredGuide ZHAO Wuyun ，GUO Yong (1．InstituteofMechanicalManufacturingTechnology，ChinaAcademyofEngineeringPhysics， MianyangSichuan621900，China；2．DepartmentofProcessEquipmentandSafetyEngineering， CollegeofChemicalEngineering，SichuanUniversity，ChengduSichuan610065，China) Abstract：Hydraulicstaticpressuredguideistheimportantfunctionunitofprecisionmachinetoo1．Hydraulicstationisindispen— sableandsupplementaryunitforhydraulicstaticpressured guidein normaloperation，and mustprovidehydraulicstaticpressured guidewithlubricatingoilofinvariablepressure．Anultra—precisionhydraulicstationofrhydraulicstaticpressuredugidewasdesigned． Inthishydraulicstation，lubricatingoilwasprovidedbyprecisiongearpumpdrivenbyvariablefrequencymotor，andpressureexport wasensured tobe steadyby full-closed loop feedback contro1．The export pressureprecision ofthehydraulicstation can reach 4-0．05％ ．Goodeffectisgainedintheapplicationofthehydraulicstationonthehydraulicstaticpressuredug ideofuhra—precision machinetoo1． Keywords：Hydraulicstation；Hydraulicstaticpressuredguide；Ultra—precisionmachinetool 液体静压导轨是将具有一定压力的润滑液经节流 “恒压”供油。为了更好地提升该液