仪用高稳定度气体压力源的研制.pdfVIP

2014年 8月 机床与液压 Aug．2014 第42卷 第 16期 MACHINET0OL HYDRAULICS Vo1．42No．16 DOI：10．3969／j．issn．1001—3881．2014．16．018 仪用高稳定度气体压力源的研制 胡佳成，李加福，李敏，张荣法，李东升 (中国计量学院计量测试工程学院，浙江杭州 310018) 摘要：利用高压气体来进行润滑的方式在精密机械领域得到了广泛应用。为此 ，采用PID算法、二级串联控制，设计 了一种仪用高稳定度气体压力源。简单介绍了稳压气源的软、硬件设计方案 ，分析了气源的整体性能测试结果。实验结果 表明：该系统的PID参数的初始最佳取值为Kp=0．6，KI=2，K。=0；流量在0～15L／min内，该系统可以获得一个较为理 想的稳定状态 ，且相对误差小于2％。 关键词：稳压气源；模糊PID控制 ；二级串联控制 中图分类号：TP271+．3 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2014)16—053—3 DesignofStablePressureSourcewithHighAccuracyforInstruments HUJiacheng，LIJigu，LIMin，ZHANGRongfa，LIDongsheng (CollegeofMetrologyMeasurementEngineering，ChinaJiliangUniversity， HangzhouZhejiang310018，China) Abstract：Thelubricationmethodofhighpressuregashasbeenwidelyappliedinthefieldofprecisionmachinery．Therefore， stablepressuresourcewithhighaccuracyforinstrumentswasdesignedusingfuzzyPID algorithm andtwoseriescontrolscheme．The softwareandhardwareofthestbalepressuresourcewereintroduced．Andtheexperimentalresultsofoverallperformanceofthegas sourcewereanalyzed．Theresultsshow that：thetopargumentofthePID p~ametem isKp=0．6，Kt=2，KD=0．Meanwhile，the flow ratewithinthescopeof5～15lMmin，thesystem canobtainamoreidealsteady-state，andtherelativee玎0rislessthan2％． Keywords：Stba lepressuresource；FuzzyPID control；Twoseriescontrol 在精密设计与测量领域中，但凡涉及到纳米量级 气和放气对气压影响较大，若仅采用一个闭环控制回 精度的回转、位移功能，其支承方式多以气体静压润 路，即使采用较大的储气罐，也难以消除前端供气系 滑技术为主…。气体静压节流器是气体静压系统的运 统和增压设备工作时对气体压力产生的波动 。。针 动基础，也是其核心部件之一 ，它的性能直接制约了 对以上难点，提出了 “双气罐结构”，即通过双循环 气体静压导轨和轴系的精度。正常工作时，节流器的 控制，减小气压波动。 气膜厚度大约只有十几微米，保证气膜厚度的稳定性 1 稳压气源的结构设计 就变得尤为重要-z。实验已经证明气源压力的波动是 二级串联控制稳压气源的工作原理如下：假设系 引起气压静压导轨中气膜振动的重要因素之一 。因