CVD金刚石薄膜涂层刀具切削SiCp／Al的适应性及失效机理.pdfVIP

维普资讯 · 10 · 《金刚石与磨料磨具工程》 CVD金刚石薄膜涂层刀具切削SiCp／A1的 适应性及失效机理 510640 华南理工大学机械学院 全燕鸣 林金萍 4oO7oO 重庆仪表材料研究所 张登友 摘 要 用切削力实时测量、后刀面磨损量检测以及扫描电镜下检查刀面涂层等手段 ，研究了CVD金刚石 薄膜涂层刀具对切削SiC。／Al复合材料的适应性，并探索了金刚石薄膜刀具的磨损破损机理及其影响因素。结果 表明，金刚石薄膜脱落是这类刀具的主要失效形式；适当参数下沉积的金刚石薄膜涂层刀具对某些成分和组织结 构的SiC／AJ精加工和半精加工具有较好的适应性。 关键词 复合材料 切削加工 涂层刀具 金刚石薄膜 失效机理 ABSII~ CY Theapplicabilityofdiamondthinfilm coatedtoolsforcuttingSiCp／M compositesand itsfailuremecha— nism aleinvestigatde inhtispaperbymeansofreal·timemeasurementofcuttingofrce，htemonitoringoftoolflankweal-，hte observationofchipshape，hteexaminationoftool(：oatunderscanningelectronmicroscope．Itisrevealde byhteresultsofex— perimentshtathtedima ondhtinfiml droppingoff isthemainfailureofrm ofhtetools．Anditisfoundhtathtetoolshavingdia· mondhtinfiml depo sitde undersomeproperparametersaresuitableofrhtefinish——machiningna dmid——finish——ma chiningof SiCp／M ofcertaincompositionnadstructure． KEYW ORI~ composites；ma chining；coatde tools；dima ondhtinfiml ；failuremechna ism 1 引言 涂层刀具还难以实现产业化 ，其主要原因是金刚石涂 化学 气相沉 积 (ChemicalVaporDeposition，简称 层工艺技术欠成熟稳定，金刚石薄膜与基体的附着力 CVD)金刚石薄膜一般厚度为 10—25tan，其中不含任 过低，薄膜不均匀，刀具切削性能离散性较大、可靠性 何金属或非金属添加剂，其多晶结构使其在各个方面 较差等等，后两者是此类刀具实现产业化的严重障碍。 都具有几乎相同的极高硬度并且没有解理面，因此其 为此，国内外研究者对 CVD金刚石薄膜涂层工艺 物理机械综合性能兼具单晶金 刚石和聚晶金刚石 及 CVD金刚石薄膜性能的测定进行了大量研究，并取 (PCD)所拥有的优点，如极高的硬度和耐磨性、低摩擦 得了较为显著的进展，不断有新成果推 出。纵观已有 系数、高弹性模量、高热导 、高绝缘、宽能隙和载流子的 的研究成果，基本上可分为两大问题的探讨 ，即：开发 高迁移率 、低热膨胀系数及与非铁金属亲和力小等，并 可高效生产具有高粘附强度的金刚石薄膜涂层刀具的 且在一定程度上又克服了它们的不足，因而成为非金 合理涂层工艺；开发可充分发挥金刚石薄膜使用性能 属硬脆材料、高耐磨材料、复合材料、高硅铝合金及其 并与涂层工艺相适应的刀具基体材料及其几何结构参 它韧性有色金属材料的精密加工、数控加工等的首选 数。近年来才开始有关于 CVD金刚石薄膜涂层刀具 刀具材料之一，在汽车工业 、航空航天工业 中有着广泛 的磨损和失