CVD金刚石薄膜涂层刀具切削性能研究.pdfVIP

维普资讯 28 · 金《刚石与磨料垂真 程》 CVD金刚石薄膜涂层刀具切削性能研究 ＼ l1．i ／f 、 510090 广东工业大学 魏 昕 张凤林、』王成勇 匡同春 摘要 本丈采甩不同涂层工艺的CVD金刚石薄膜刀具切削高硅铝舍金，观测比较刀具的磨损过程、磨损与 破损形貌殪工件加工表面粗糙度，分析CVD金刚石薄膜刀-R--~削高硅铝旮金的磨损机理和失效原目。研究结果 可为涂层工艺的改进提供 了理论依据 。 ABSrRACr TheexperimentsofcuringA1一SialloywithdifferentCVDthinfilm diamondcoatedtools done ． The toolwearprocess，wearandbreakagemechanism ．andworkpiecesurfaceloughnes8areme asurde nadanalyzed． Theresnits valuablefordevelopingCVD diamondcoatingtechnology． 主题词 金刚石蔓膜 g-层刀具 切刚性能 刀具磨损 C KEYWORDS diamondthinfilm coatedtool cuttingperformance toolwe＆【 I 前盲 刚石薄膜涂层刀具的磨损过程、磨损与破损形貌及高 CVD金刚石薄膜是采用化学 气相沉积 (简称 硅铝合金工件表面粗糙度，分析CVD金刚石薄膜刀具 CVD)方法制备出来 的一种全晶质多晶纯金刖石材料。 切削高硅铝合金的磨损、破损失效机理，根据实验研究 它具有与天然金刚石完全相 同的结构．因而具有硬 度 结果 ．改进 CVD金刚石薄膜涂层工艺．得到了切削性 高、耐磨损、导热性好、摩擦系数小及与非铁金属亲和 能优 良的CVD金刚石薄膜涂层刀具。CVD金刚石薄 力小等优 良物理机械性能。CVD金刷石薄膜不含任 膜涂层刀具切削性能是评价和改进 CVD金刚石薄膜 何金属或非金属添加剂，其多晶结构又使其在各个方 涂层工艺的有效方法之一。 向都具有几乎相同的极高硬度 ，没有解理面，因此其物 2 实验条件及方法 理机械综合性能兼具单 晶金刚石和聚晶金刚石 (PCD) 切削实验在 Tc一15型车削中心上进行。切削条 的优点，而在一定程度上又克服了它们的不足。此外 ， 件为 ：切削速度 =180m／min；切削深度 Ⅱ=0．2ram； CVD金刚石薄膜还有制造成本低于聚晶金刚石 ．且可 进给速度 f=0．1mm／r，干切 削。被切削材料为含硅 制作形状较为复杂的刀具 的优点。CVD金刚石薄膜 23％(wt．)的浇铸硅铝合金．硅相尺寸柏 150u,m。 涂层刀具不仅使用寿命高，而且极小的摩擦系数可减 选取 YG6和 YG3方型硬质合金可转位刀片作为 小切削力．降低切削加工变形．不易产生积屑瘤，可获 基体．采用直流等离子射流 CVD法进行金剧石薄膜涂 得高加工精度和表面加工质量，适合于非铁类难加工 层．反应气体为甲烷、氢气、氩气的混合气体。涂层过 材料的精密加工、数控加工等，在汽车工业、航空航天 程进行脱钴碳等基体表面处理。涂层工艺参数如表 1 工业中有着广泛的应用前景。目前，由于 CVD金剐石