ELID研磨工艺的实验研究及其设备的开发.pdfVIP

2012年 12月 第 6期 金刚石与磨料磨具工程 Dee．2012 第 32卷 总第 192期 Diamond＆ AbrasivesEngineering No．6 Vo1．32 Serial192 ELID研磨工艺的实验研究及其设备的开发 关佳亮， 朱莉莉， 王志伟 ， 汪文昌， 陈志德 (北京工业大学机电学院，北京 100124) 摘要 根据ELID(电解在线修整)磨削原理和已有的ELID磨削工艺技术，以现有的研磨机为实验平台开 发出一套 ELID研磨加工工艺系统，对氧化铝陶瓷密封件进行 了ELID超精密研磨加工实验研究，取得 了 良好的效果，获得粗糙度为 15nm左右的加工样件，效率提高了60％，成本降低 50％。并在此基础上设 计 了一台ELID研磨样机 ，为以后 ELID研磨机的产品化奠定 了坚实的理论和实践基础。 关键词 ELID研磨 ；氧化铝陶瓷；ELID研磨机 中图分类号 TG58；TQ164 文献标志码 A 文章编号 1006—852X(2012)06—0038—04 Processexperimentalresearch andequipmentdevelopmentofELID lapping GUAN Jia—liang， ZHU Li—li， WANG Zhi-wei， WANG W en。chang， CHENZhi_de (CollegeofMechanicalEngineeringandAppliedElectronicsTechnology， BeijingUniversityofTechnology，Beijing100124，China) Abstract AccordingtotheprincipleandtheexistingprocesstechniquesofELID (electrolytic—inprocess— dressing)grinding，usingthecurrentlappingmachineastheexperimentalplatform，anELIDlappingprocess system was developed．ELID ultra precision lapping wasapplied to machine alumina ceramic seal，which obtainedgoodeffect．Theroughnessofprocessed samplesreached about15 nm ，the efficiencyincreased by 60％ ，thecostreducedby50％ ．Onthisbasis，an ELID lappingprototypewasdesigned，which laid asolid theoreticalandpracticalbasisfortheproductionofELID lappingmachineinthefuture． Keywords ELID lapping；aluminaceramic；ELID lappingmachine 随着硬质合金、工程陶瓷、光学玻璃 、淬火钢及半 得了显著的成果。如 日本富士公司采用 ELID磨削技 导体等硬脆难加工材料的 日益广泛应用，高效率精密 术加工光学镜头；新加坡 国立大学设计的五轴 ELID 超精密镜面加工在整个机械加工领域 日趋重要，但传 磨削机床用于批量加工曲面光学玻璃；美国应用ELID 统磨削和研磨工艺技术对脆硬难加工材料进行加工时 磨削技术加工电子计算机半导体微处理器 ；我 国北京 存在磨削和研磨力大、温度高、效率低、修形修锐困难 工业大学机电学院精密超精密加工研究室已实现 自主 等问题，难 以满足高精度、高效率的加工要求 。1987 研发的ELID工艺系统的产品化，并开发了可实现 电 年 日本国立理化学研究所的大森整开发了ELID镜