金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展.pdfVIP

维普资讯 2002．3(129) ·3 · 金刚石薄膜膜基界面结合强度测量技术的研究进展六 200030 上海交通大学 简小刚 孙方宏 赵 国伟 刘国良 陈。明 摘 要 膜基界面结合强度的测量与评价是金刚石薄膜制备与应用关键 问题，本文介绍了国内外金刚石薄 膜膜基界面结合强度的几种典型的测量方法，着重探讨 了膜基界面结合强度的精确定量测量技术的研究现状 以 及发展趋势，提出了用一种新的内涨鼓泡测量法，对复杂形状基体上金刚石薄膜膜基界面结合强度进行精确定量 检测．为金刚石薄膜的制备工艺优化及其质量的评估提供可靠的依据和标准。 关键词 金刚石薄膜 结合强度 鼓泡 ABSTRACT：AdhesionmeasurementisOFleofthekeyquestionforthefabricationandapplicationofCVD diamondthin lm．Inhtispaper，sometypicaladhesionmeasurementsondiamondthinfilmswere introduced．Andalso．there．archstatus andthedevelopmentdirectionofadhesionmeasurementswere discussed．Anovelbulge—blistertestwasputforwardforthead— hesionmeasuremefltofdiamondthinfilmsdepositde Oilcomplex—geometriessubstrate．whichCna giveafoundationforhteoD— timizationoffbaricationtechnicsmidacriterionfortheevaluationonthequaliDofdima ondhtinfilms． KEYW oRDS：dima ondthinfiml ．adhesionstrength．blistertest l 引言 等 。本文着重介绍金刚石薄膜膜基界面结合强度 近年来．通过利用化学气相沉积 (CVD)法 、等离子 测量技术的几种典型方法、研究现状以及发展前景．并 体化学气相沉积 (PCVD)法、火焰燃烧法 、物理气相沉 通过分析比较提出用 内涨鼓泡测量法来实现对复杂形 积(P、D)法 、化学气相输运法、粒子束沉积法 以及激光 状金刚石薄膜膜基界面结合强度的精确定量测量和对 化学气相沉积 (LECVD)法等来制备金刚石薄膜材料的 金刚石薄膜力学性能的综合评价 。 研究 已取得突破性进展 ，金刚石薄膜的制备与应用 已 2 国内外金刚石薄膜膜基界面结合强度定量测量技 成为薄膜材料领域一个重要的研究方 向 。然 而， 术的研究现状 由于金刚石薄膜的制备和实际应用与它的膜基界面结 金刚石薄膜膜基界面结合强度和力学性能测量技 合强度、薄膜的力学性能及残余应力等密切干H关，人们 术是金刚石薄膜制备与应用的关键 问题，同时也是金 对金刚石薄膜的弹性变形、残余应力 、疲劳强度以及断 刚石薄膜技术研究的热点 、难点之一。在传统的定性 裂韧性等力学性能，特别是对于薄膜与基体之问的结 测量方法基础上，国外 90年代 以来已相继开发出适应 合强度 ．在测量技术和评价方法上仍有很大的难度 ，这 于各种不同要求的硬质薄膜力学性能和结合强度定量 就直接制约着金刚石薄膜材料的推J应用 。例如． 测量的新技术，如直接拉伸法 、纳米压痕法 、剥离测量 在硬质合金基体材料上沉积金刚石薄膜所制备的涂层 法 、四点梁弯曲实验法、激光声学测量法和声学显微镜 具，由于缺少金刚石薄膜膜基界面结合强度的合理 测量法等 。 。直接拉伸法可以简便地测出金刚： 评价方法，对于膜基界面结合强度低导致切削性能不 薄膜膜基界面结合强度 ，但是测量结果易受