燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究.pdfVIP

维普资讯 17 · 燃焰法沉积金刚石薄膜涂层刀具时的生长均匀性研究 l10015 沈阳工业学院 黄树涛 社玉波 哈尔滨工业大学 苤 袁哲俊 摘要 在分析研究燃焰法合成金刚石机理的基础上，研究了用燃焰法在刀具上沉积金刚石薄膜时的生长均 匀性 问题 ，提 出了刀刃上金刚石的异常生长原因厦抑制方法，获得 了涂层均匀的金刚石薄膜潦层刀具。 ABSTRACT Basedon the analysisofsynthetic mechanism ofdiamond by combustion flamemethod，the growth unifonnityduringthedef~xsitingofdiLunondfilmonthetoolsby combustionflamemehtodhasbeenstudied．Theleasollsofab- 1tormaloutgrowthof diamondonhteedgealemmlysedandprotectionnle．asuel$hteretbra pelposed．anduniform diamond fiml coatedtools beenoblainde ． 主题词 金 刚石 薄膜潦层刀具 燃焰法 均匀性 雨7 时 l 前言 火焰为中性焰 ，中性焰中不含合成金刚石所需的含碳 在众多的金刚石薄膜化学气相沉积方法 中，燃焰 原子团，不能合成金刚石 当 0：／ 1时，氧气过 法具有装置简单 ， 需 电力，沉积速率高、适合在 凹凸 剩，火焰 由焰芯和外焰组成，具有氧化性，称为氧化焰 ， 面上沉积等许多优点，较适合工业化生产，可以认为是 氧化焰对金刚石有强烈刻蚀作用 。当0．7(02／c2 ( 一 种适合刀具涂层 的高效沉积方法。但是，用燃焰法 1时 ，乙炔过剩，火焰 由焰芯 、内焰和外焰组成 ，称为还 在刀头上沉积金刚石薄膜时，沉积过程中容易在刀刃 原焰 ，其 内焰具有还原性 ，燃焰法沉积金刚石薄膜是在 上形成金刚石的异常生长” 刀刃上异常生 长的金刚 还原焰的内焰中进行的 实际上，由于燃烧过程 中氧 石在切削之初将承受较大局部载荷，而导致金刚石薄 气和乙炔各分子的碰撞速度小于乙炔和氧气的燃烧反 膜的剥落 所 以，对金刚石薄膜涂层刀具来说，有效抑 应速度，有～些氧气并不参与燃烧反应，因此 ，实际的 制刀刃上金刚石的异常生长现象 为此，本文在分析 中性焰气体流量比( ／c2}L)要略大于 1[3J 研究燃焰法合成金刚石机理的基础上，对在刀具基体 还原焰所发生的主要燃烧反应有0： 上沉积金刚石薄膜时刀刃上金刚石的异常生长及抑制 c2 一 2C+ +229436J (1) 方法进行了研究 ，用燃焰法沉积出了涂层均匀的金 刚 2c+ — H1O+221482J (2) 石薄膜涂层刀具。实验所用燃焰法沉积金刚石薄膜涂 层刀具装置筒图见文献 。 + { —— o+241997J (3) 2 燃焰法台成金刚石的机理 2C0+ 一 2oo2+568986] (4) 燃焰法沉积金刚石薄膜时，火焰结构对金刚石的 反应式 (1)所表示 的乙炔气体的分解反应主要发 形成有很大影响。对氧一乙炔焰 的燃烧研究表 明，气