热丝化学气相沉积法制备优质微米亚微米级单晶金刚石的研究.pdfVIP

2011年 12月 第 6期 金刚石与磨料磨具工程 Dee．2011 第 3l卷 总第 186期 Diamond AbrasivesEngineering No．6 Vo1．31 Seria1．186 文章编号 ：1006—852X(2011)o6—00o7—05 热丝化学气相沉积法制备优质微米 亚微米级单晶金刚石的研究 张 韬 ， 沈 彬 ， 孙方宏 ， 张志明 (1．上海交通大学机械与动力工程学院，上海200240) (2．上海交友钻石涂层有限公司，上海 200240) 摘要 利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)，在硅片衬底上进行微米级(1 m)及亚微米级(l m)单 晶金刚石的沉积研究。微米级金刚石是 以高温高压法 (HPHT)制备的 1 m金刚石颗粒为籽 晶，通过甩 胶布晶的方法，在衬底上均匀分布晶种，并通过合理控制沉积3-艺参数，在衬底上形成晶形完好的单晶金 刚石 。在沉积2h后 ，可消除原 HPHT籽晶缺陷，沉积6h后 ，生长 出晶形 良好 的立方八面体金刚石颗粒 (约4jxm)；对于亚微米级单晶金刚石，是直接在衬底上进行合成，通过调控沉积参数(如衬底预处理方 法，偏流大小，沉积时间)对单晶金刚石的分布密度和颗粒度进行控制，经过 2h的沉积，最终获得 了0．7 m的二十面体单晶金刚石。 关键词 热丝化学气相沉积法；微米级单晶金刚石沉积参数 中图分类号 TQ164 文献标志码 A Preparationandcharacterizationofhigh qualitymicro／submicrosingle crystaldiamondsbyhotfilamentCVD method ZHANG Tao ， SHEN Bin ， SUN Fang-hong ， ZHANG Zhi-ming (1．SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) (2．ShanghaiJiaoyouDiamondCoatingCo．Ltd，Shanghai200240，China) Abstract Highqualitymicro／submicrodiamondswitheuhedraldiamondfaceswerepreparedusinghotfilament chemicalvapordepositiontechnique(HFCVD)．Themicrosinglecrystaldiamonds(1Ixm)weredeposited onthediamondseedsinthesizeof1msynthesizedunderhighpressureandhightemperature(HPHT)．The photoresistsolutionwithdiamondseedsweredisperseduniformlyonsiliconwafersusingaspineoatermachine． After2hoursdeposition，thedefectsoftheHPHT diamondseedswereeliminated．After6hoursdepositionn， thediamondsof4 m withwell—definedmorphologywereobtained．Meanwhile，thesubmicron singlecrystal diamonds(1 m)weredirectlydepositedonsiliconwafers．Thecrystaldensityandsizewerecontrolledby adjustingthedepositionparameters，suchasthepre—treatmentmethodforsubstrate，biascu