化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展.pdfVIP

维普资讯 化学气相沉积金刚石薄膜衬底的研究进展 训 、 } 王天旭 ，蒙继龙 ，文命清 (华南理工大学 机械工程学院，广东 广州 510641) 摘要 ：讨论了化学气相沉积金刚石薄膜 的各种衬底材料。气相合成金刚石衬底材料分为3类 ，第一类是能和碳形成碳化物的衬 底 ；第 2类是与碳不起反应 (aq形成碳化物)但能溶碳 的衬底 ；第 3类是既不与碳反应又不溶碳的衬底。第～种一般与金刚石薄 膜有比较好的粘合性 ，后两种虽然使金刚石成核容易，但衬底材料与金刚石薄膜结合性较差。采用预处理是促进化学气相沉积 金刚石薄膜与增强结合力非常有效的方法。 关键词：金刚石薄膜 ；衬底材料 ；预处理 中图分类号：TG174．444 文献标识码 ：A 文章编号 ：0254．6051(2002)09．0016．03 DevelopmentofStudyon SubstrateM aterialsofDiamondFilms byChem icalVaporDeposition WANG Tian—XU，MENG Ji—long，WEN Ming—qing (CollegeofMechanicEngineering，SouthChinaUniversityofTcehnology，Guangzhou，Guangdong510641，China) Abstract：Inthispaper，substratematerialsofdiamondfilmsbychemicalvapordepositionarediscussed．Thereare threesubstratecategories．Thefirstisthatcanform carbides andhasgoodadhesiontodima ondfilms．Thesecond isthatdoesnotreactwithcarbonbutcandissolveit．Thelastisthatneitherraectwithcarbonnordissolveit．The lattertWOcategories facilitatedima ondnuclaetionbutresultinpooradhesion．Thepre—treatmentisimportantin improvingnuclaetionandadhesion． Keywords：dima ondfilms；substratematerials；pre—treatment 1 引言 ②强溶碳 的材料 ，包括 Fe、Co 、Ni；③既不与碳反应又不溶碳 的衬底。例如 Cu、Au。第二类和第三类衬底使金刚石成核容 自50年代低压气相合成金刚石获得成功以来 ，在全世界 易，但衬底材料与金刚石薄膜结合较差 3【l4j。 范围逐步开展 了气相合成金刚石 的研究工作 ，经过努力 已在 在第一类材料中，W 、Mo都是易形成碳化物的难熔金属。 沉积技术 、合成工艺、性能研究、开发应用等方面 ，取得了很大 在沉积金刚石过程中，W、Mo衬底上均形成了碳化物中间层 。 进展 。 在w 的衬底上形成 了WC，同时伴有少量 W2C的过渡层；在 Et前气相沉积金刚石的方法有化学气相沉积 (CVD)和物 Mo衬底上形成 Mo2C过渡层。在沉积金刚石薄膜 的初始 阶 理气相沉积 (PVD)两大类 。物理 气相沉积金刚石膜 比较 困