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微系统的设计.pdf
微系统的设计
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浙江水利水电专科学校 浙江杭州 浙江大学 浙江杭州
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QL32U-4V N-13L
摘要 介绍了微系统专用的设计方法 即虚拟制 用的那样 实现一种能预先认识到有形 物质 制造
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造微系统来实现微系统的设计 并提供了微系统设 的虚拟制造Y
微系统专用设计过程n#o
计流程 框图如图 所示 在这
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关键词 微系统 虚拟制造 设计 模型
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中图分类号X ’Z
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文献标识码X
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文章编号X!’’!\##Z*$#’’+’!\’’]]\’
图 微系统专用的设计过程
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里可以发现 虚拟制造微系统不必做原型样机 而只
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需要做一个模型化和模拟化的来代替原型样机 然
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后通过对模型化和模拟化的测试 来判定该微系统
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设计的正确性 虚拟制造微系统中 在模型化和模拟
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