半导体激光自混合干涉测振仪调制与解调技术的的的研究.pdfVIP

摘要 摘 要 激光的自混合效应来源于激光器的外部光反馈效应，以前人们总是设法消除 光反馈的影响，后来逐渐由消除光反馈的不利影响到主动利用光反馈效应检测物 理量，从而形成了一门新的技术。 本文研究了半导体激光自混合干涉测振仪的调制与解调技术。基于激光自混 合干涉技术的特点，将频率调制引入自混合干涉中，实现对振动物体的非接触式 测量。分析了半导体激光自混合干涉测振仪的原理, 主要包括自混合干涉测振模 型、自混合干涉信号的解调与振动波形的恢复。设计和制作了自混合干涉测振仪 系统，主要包括光路系统、信号的调制模块和解调模块以及DSP系统的采集处理 模块。其中，信号的调制模块主要包括基于FPGA的DDS信号源的设计、调制电路 的设计以及保护电路设计；解调模块主要包括PD电流电压转换电路设计，放大电 路设计、差分电路设计以及微分电路设计。 半导体激光自混合测振仪体积小、成本低、易于准直、可以非接触式测量， 能够测量振动频率在50 KHz内的物体，其中包括非周期性振动。可以测量出振动 物体的振动频率、振幅以及还原振动波形，振动幅度测量精度可以达到0.325m， 频率精度为1Hz。 实验表明，研制的半导体激光自混合测振仪能够较好的恢复出振动源的振动 波形以及其他振动参数，能够满足实时性和高精度方面的要求，有可能发展成便 携式激光测振仪，具有小型化和智能化优点，有着广泛的应用前景。 关键词：半导体激光器，自混合，测振仪，调制，解调 I Abstract Abstract The self-mixing effect comes from the optical feedback effect . People always tried to eliminate the optical feedback effect previously. Gradually people began to make use of it actively to measure some physical quantities, thus self-mixing interference technology was brought forth. This paper studies the modulation technique and demodulation technique of the self-mixing interference semiconductor laser vibrometer. Based on the characteristics of Laser self-mixing interference technologes, frequency modulation system will be introduced in the self-mixing interference to achieve the objects of the non-contact vibration measurement. The paper introduce the theory of the vibration measure using laser self-mixing interference ， which mainly includes vibration self-mixing interference model, self-mixing interference signal demodulation and recovery of the vibration waveforms. Self-mixing interference vibrometer syst