偏振分光镜分光性能非理想对激光外差干涉非线性误差的影响.pdfVIP

第33卷 第 11 期 中 国 光 Vol.33, No. 11 2006 年 11 月 CHINESE JOURNAL OF LASERS November, 2006 : 02582 7025(2006)05 偏振分光镜分光性能非理想对激光外差 干涉非线性误差的影响 1 1 2 陈洪芳 , 丁雪梅 , 钟 志 1 2 (哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所, 航天学院通信工程系, 黑龙江 哈尔滨 150001) 为了减小 光外差干涉纳米测量的非线性误差, 必须明确偏振分光镜(PBS) 分光性能非理想对非线性误差 的影响机制.推导出非理想情况下偏振分光镜透射率和反射率的 光外差干涉非线性误差模型, 建立了偏振分光 镜分光性能非理想对非线性误差二次谐波的影响模型. 仿真结果表明,偏振分光镜的透射率和反射率非理想对非 线性误差的影响为一次谐波,且偏振分光镜分光性能越差,其对非线性误差的影响也越大. 在偏振分光镜反射率为 0.90的情况下, 偏振分光镜透射率从1减小到0.90时,非线性误差由0.62 nm增大到1.24 nm.当存在偏振分光镜旋 转角度误差时,偏振分光镜分光性能非理想引起的非线性误差不增加二次谐波分量, 但增大了非线性误差一次谐 波分量,严重影响非线性误差的大小. 当偏振分光镜旋转角度误差为5b 时, 偏振分光镜透射率从1变为0. 90,非线 性误差从0.39 nm增大到1.41nm. 测量; 光外差干涉; 非线性误差;透射率; 反射率;偏振分光镜;二次谐波 TN 247 A Effect of Nonlinearity by the Nonideal Splitting Performance of Polarization Beam Splitter in Laser Heterodyne Interferometry 1 1 2 CHEN Hong2fang , ING Xue2mei , ZHONG Zhi 1Institute of Ultra2Precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology , Harbin, Heilongj iang 150001, China 2 Department of Communication Engineering, School of Astronautics, Harbin Institute of Technology , Harbin, Heilongj iang 150001, China Abstract To reduce the nonlinearity of nanometer measurement in laser heterodyne interferometric, the influence mechanics of nonideal splitting performance