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Correlation Page of Correlation (相關性) 参考文件：DEI-137 A、定 義 1) 相關的含義 相關﹕ 相關是在同一可量單元里為了測定來源數据的關系而做的兩組不同可量數据間的對比﹒ 2) 一元線性回歸分析﹕是研究兩個變量X与Y之間的線性相關關系﹒ 3) 回歸方程﹕一個線性回歸方程表現在X和Y軸數据間存在的一個線性關系﹐也就是說﹐当在 一幅圖中時﹐數据可以由一條近似所有數据點的直線來表示﹐因為并非所有X和Y軸的数值 确定的數据點都落在回歸線 上﹒ 用公式表 示﹕Y=mX+b﹐m為斜率﹐b 為線在Y軸的截距﹔ 4) 回歸線斜率﹕回歸線斜率是X軸直接變化而在Y軸引起相應改變結果的關系的表現﹔ M = ΔY/ΔX﹐X﹑Y 為已知 m = Σ(Xm-X)(Ym-Y)/Σ(Xm-X)2 Xm = 每個單獨的X測量值 Ym = 每個單獨的Y測量值 X = 所有X值的平均數 Y = 所有Y值的平均數 5) Y軸截距 Y軸截距(b)是直線和Y軸交點的坐標值﹕Y 截(b) = Y - mX﹔ 6) 相關系數﹕相關系數通常用來表明兩組數据間相關程度如何﹐ R = Σ(Xm-X)(Ym-Y)/SQRT{Σ(Xm-X)2Σ(Ym-Y)2 ｝ 7) RMS 公差﹕對于每一個X原值﹐有一個Y原值和一個由回歸方程計算出的Y与之對應﹐ e^ = (Yi-Yi^) Yi = 給定X值的Y原值 Yi^ = 同樣給定X值的計算值 e^ = 該數据點的公差值 對于任何給定的X值﹐相應的Y值可預期地落入以中間值為Y=mX+b﹐ 以公差值形成的標准偏差帶中﹐為RMS公差﹒ B、 做相關的一些要求 1) 所要做相關的測量儀器﹐應先保証其 GRR 的 PASS﹔ 2) 選定一台標准設備(MASTER)﹔ 3) 進行操作的人員應是合格的 Operator﹔ 4) 對定期維護的測量儀器﹐應按照實際情況對該測量儀器做相關的檢驗﹔ 5) 一般情況下﹐MFG 內部規定﹐對于 HGA 工序﹐每個月應對測量儀器 進行相關的檢驗﹔ 對于 HSA 工序﹐每三個月對測量儀器進行相關的檢驗﹔ C、 程序 1) 做相關性試驗樣品的挑選 要從樣品的穩定和樣品的值域兩方面去考慮﹐挑選滿足一定穩定性要求和覆蓋一定范圍 值域的樣品﹐具体的要求由相關工程人員根据實際情況确定﹔所選樣品值的的范圍應 均勻分布于 SPEC 之內﹐而不應選擇兩极 分化或集中分布的樣品； 2) 樣品的數量 用于做相關性試驗的樣品必須不少于5個樣品單元﹐一般情況下﹐10至30個樣品測量是充分的﹔ 3) 獲得相關數据 合格的Operator以正常的操作手勢進行測試﹐每個樣品單元必須測量不少于3次﹐ 然后取其測量的平均數來做為相關數据﹔ 4) 做相關的方法 兩套做相關數据可以用簡單的線性回歸來比較﹐在比較中﹐來自不同來源的數据關系將 呈現為X-Y坐標圖﹐在來源之一的每個樣品單元測量的數据決定數据點的X軸數值﹐而另一來 源測得的相應數据決定數据點的Y軸數值﹒這通常可使用相關圖示的形式使數据變得直觀化﹒ 5) 進行相關計算 根据定義計算出回歸線斜率﹐Y軸截距﹐從而得出回歸方程﹒同時也根据定義計算出相關系數 和公差以作相關分析﹒通常是利用電腦軟件程序進行計算﹐SAE目前常用的有﹕EXCEL 和 PTQ﹒ D、 相關的分析 1) 相關的意義 相關系數R是相關意義的主要判定因素﹐相關系數的值域為-1到+1﹐相關系數的絕對值愈大﹐ 則相關性愈好﹐也就是說有小的几率在X和Y值間由于隨机變化而聯系著﹔ 2) 回歸線的斜率和截距在評价測量相關性時十分重要﹐一個非常好的相關有一個非常接近1的R值﹐ 斜率為 1 (or -1) 和截距為 0﹔ 3) 事實上﹐常有大的截距和斜率或小于1的﹐但R值仍然較高﹐主要由于測量儀器間的不同而引起的﹔ 4) 不同樣品數的最小R和R2 值 下圖給出在99.9%可信水平下不同樣品數的最小R和R2 值 樣品數量 最小R值 最小R2 值 5.00 .99 .98 10.00 .87 .76 15.00 .76 .58 20.00 .68 .46 25.00 .62 .38 5) 回歸方程和相應值域 我們涉及的數据值域不是無限的﹐而是“相應值域”﹒ 回歸方程的形式可以通過相應值域來檢查測定計算出的Y值﹐接近實際 X 值的程度﹒ 例如﹕某些數据落入 120~134 的值域內﹐對于下列數据﹕ 實際X數据 Y計算值(Y) 差异 (X-Y) 百分比差异 120.00 124.68 -4.68 -.04 127.00 129.88 -2.88 -.02 134.00 135.08 -1.08 -8.10E-03 多大的不同(實際或百分率)可以接受﹐并且還要考慮兩個測量系統是否提供了同樣的結果﹐ 一般