离子镀装饰膜厚度测量技术.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 1期 太 原 重 型 机 械 学 院 学 报 l7 No．I 1996年 3月 JOURNALOFTAIYUAN HEAVY MACHINERYINSTITUTE M ar 1996 摘删巍妨糖帽 离子镀装饰膜厚度测量技术 杨建宏 闫 进 — — — — — — 一 — (太原重型机械学院基础部，太原 030024) 要 本文首次利用 Michelson干涉仪对多弧离子镀 TIN装饰膜厚度进行 一 ， ’ 、 — 一 躺 0 引言 近年来物理气相沉积 (PVD)技术发展迅速，不断得到完善，并扩大了应用范围．基础 理论的研究开始起步并 日益受到重视 ．目前国内外大量文献报道主要集中在涂层质量的测试 与评定方法上… ¨J．薄膜厚度的测量是薄膜科学的重要分支之 一．目前国际上测量方法很 多，如椭圆偏振法 ¨J，干涉测量法和断面直接观察法H]等等．而用 Michelson干涉仪来测量 姨 薄膜厚度还属于尝试阶段 ¨n ，该方法的优点是原理简单．在一次测量过程 中能够 同时确 定薄膜的厚度和光学参数 薄膜厚度测量的精确范围为 100～200nm，很适合装饰膜的测量 ， 1 装饰膜及厚度测量中存在的问题 装饰膜的厚度是 TiN仿金层的一个重要质量指标，由于薄膜的厚度与薄膜的物理、化 学结构密切相关”，因此厚度对其它性能多有影响，如膜太厚附着力会降低，颜色逊色； 膜太薄耐蚀性 耐磨性及硬度均会下降，孔 隙度 增加 通常 TiN装饰膜厚度约为 0．1～ 1，0pm，故除光学膜外它是一种极薄涂层．TiN不是单一纯金属镀层．而是一种在化合物 膜，因此对 TiN膜厚精确测量有很大实用价值，但是实施办法有困难 ． 为准确测出TiN的膜厚．同时观察膜层断面组织形貌，对不锈钢基体，目前较有效办法 是将试样用铜 片夹紧、磨制成金相样 品，在扫描 电镜下故大}受f量 ，如 图 l所示，可测 出多弧 离子镀膜层厚度为 (0．446±0．065)um．对于高速钢等脆性材料基底可在液氮下冷却然后 悝犒 日糍 19q5—0l一 维普资讯 第 L7卷第 l期 杨建宏等：离子镀装饰膜厚度测量技术 25 轧断_]…，这样测量相对准确点 断面直接测量 法 目前 国 内同行较流行使用 ， 但是该方法在制做对膜的表面或与基体的交界面， 在切断、研磨时容易塌边 ．另外对软膜或软基体 研磨时研磨面 的内缘 以及l与基体的连校面会被烧 灼 ，使精度下降．多弧离子镀工艺可使膜与基体 之间产生一定 的曲扩散层，对膜层范 围的判断带 来 了困难，而且该方法还属于破坏性实验 ，所 以 这种方法不仅简单精确、而且不破坏样 品，是 日 前较为理想的测厚度方法 2 Michelson干涉仪测量膜厚实验方法 目 T， 2．1 Michelson干涉原理 Michelson干涉仪测量金属膜层厚度的基本光 路如图2所示，样品夹在 M2上，在 M 与 M 之间的距离 小于等于某一定值时，即在相 干长度范围内，在 P点可 看到干涉条纹，当观察点固定，调节 JⅥj与 M 2之间夹角 p， 可以看到 口从远大于一大于一等于一 小