基于低阶自适应模型及时滞补偿的单晶硅直径控制研究.pdfVIP

20 10 7 ( ) Ju ly 20 10 34 4 Journa l o f Anhu iU n iversity ( N a tura l Sc ience Ed ition) V ol. 34 N o. 4 基于低阶自适应模型及时滞补偿 的单晶硅直径控制研究 鲁照权, 郑国俊, 董学平, 殷礼胜, 彭海军, 余 波 ( , 230009) : , , , . , . : , . : ; ; ; : T P 13 : A : 1000 - 2162( 2010) 04 - 0008- 04 Research on a control for the diam eter of single crystal silicon based on delay co