氧化锌气敏传感器性能的改善及在民航系统的应用.pdfVIP

氧化锌气敏传感器性能的改善及在民航系统的应用／李 酽等 ·53 · 氧化锌气敏传感器性能的改善及在民航系统的应用 李 酽，刘 敏，刘金城，吕 潭 中国民航大学理学院，天津 300300 摘要 氧化锌是多功能N型半导体材料，具有优 良的气敏性能，在气体传感器方面具有广泛的用途。氧化锌 气敏材料及测试方法进一步优化后 ，传感器具有更高的灵敏度和更广泛的适用性。对纳米氧化锌传感器的气敏机 理、改善气敏性能的主要方法以及传感器在民用航空方面的应用做 了详细的综述。 关键词 氧化锌 气敏 改善 民航 中图分类号：TB321 文献标识码：A DOI：10．11896／j．issn．1005一O23X．2014．21．010 ZincOxideGasSensor：PerformanceImprovementand ApplicationinCivilAviationSystem LIYan，LIUMin，LIUJincheng，LU Tan CollegeofScience，CivilAviationUniversityofChina，Tianjin300300 Abstract Zincoxide，aversatileN-typesemiconductormaterialwithexcellentgassensingperformance，is widelyusedingassensors．Afterthezincoxidegassensingmaterialsandtestingmethodsbeingoptimized，thesensor hasahighersensitivityandwiderapplicability．Sensingmechanism ofnano—ZnO sensor，methodstOimprovethesen- singperformanceandsensorapplicationsincivilaviationarebrieflyintroduced． Keywords zincoxide，gassensing，improvement，civilaviation 氧化锌是一种表面控制型气敏材料，具有物理化学性能 吸附分子的解离能，发生负离子吸附反应，气敏元件表面的 稳定、价格低廉等优点，在制备气体传感器方面得到广泛应 自由电子数量减少，阻值升高。由于ZnO的电阻随着表面吸 用，与SnO、FeO。共同被称为气敏三大基体材料_】]。据报 附气体的种类和浓度变化而不同，因此 ZnO气敏传感器可通 道，已有基于纳米 ZnO材料的气敏传感器用来检测乙醇、丙 过与其表面化学吸附氧的相互作用来改变阻值，实现对 目标 酮、甲烷、甲醛、硫化氢等有害气体，但常存在灵敏度低、工作 气体的检测。 温度高、选择性差等缺点，使其应用远不及 SnO。和Fe03广 ZnO气敏传感器对气体的吸附分为物理吸附和化学吸 泛。因此，为提高ZnO的气敏性能，在其中掺杂贵金属元素 附。当温度较低时，气敏元件表面活性低，电子移动速度慢， 如Ag、Sn、Ni 、稀土元素 如Ce、Tb、La、Er 等来提高传感 提高工作温度可以加速化学吸附反应；但温度过高，目标气 器的灵敏度、降低工作温度、增强选择性，也可使用紫外灯照 体的解吸几率大大增加，两种吸附反应速率都会降低，因此， 射激发电子等其他方法来提高其气敏性能[2]。 测试材料气敏性能存在最佳工作温度。 1．2 氧化锌形貌结构 的改善 1 氧化锌微观结构对气敏性能的影响 纳米 ZnO的制备方法有沉淀法、溶胶一凝胶法、模板法、 微波法和水热合成法_4等。由于ZnO是表面 电阻控制型气 1．1 氧化锌气敏元件的工作机理 敏材料，形貌结构对气体敏感性差别很大_5]。材料较大的比 ZnO是典型的N型半导体材料，导电载流子是电子。以 表面积可为气体传输提供通道，利于气体扩散，增强气体吸 其为材料制备的气敏传感器暴露在空气中会吸附O，Oz从 附能力，因此具有较高的灵敏度。稳定的结构使晶体颗粒不 ZnO中夺取电子形成 O 、02一、O一等，使传感器电阻迅速 易团聚，可明显增强材料测试的重复性，从而能提高气敏性 上升，由于空气中的氧含量基本保持不变，氧吸附量恒定，因 能。因此 ，研究人员不断探索各种合成 ZnO纳米材料的新方 此阻值为定值。当材料表面吸附还原性气体 如CO、H：、乙 法，通过控制材料的尺寸、组成、结构和形貌等提高气敏性 醇、丙酮等 时，ZnO的功函数大于吸附分子的离解能，还原 能 ]。已有形貌如三维 3D 多级分层微球，二维 2D 纳米 气体与ZnO表面发生吸附反应或表面氧反应，向气敏元件释 片 9【]、纳米盘[1，一维 1D 纳米棒、纳米线、纳米