超声喷雾热解法制备MgxZn1-xO薄膜及其性能研究.pdfVIP

超声喷雾热解法制备 Mg~Zn一O薄膜及其性能研究／曹信言等 ·337 · 超声喷雾热解法制备MgZn1--x0薄膜及其性能研究 曹信言，王 华，许积文，杨 玲 ，任明放 (桂林电子科技大学材料科学与工程学院，桂林 541004) 摘要 采用超声喷雾热解法在石英玻璃衬底上生长出不同组分的宽禁带Mg~Zn1--xO薄膜(—O、0．08、 0．16、0．25)。通过 x射线衍射 (XRD)、扫描 电子显微镜(SEM)和分光光度计等分析测试手段对 Mg．Zn1--xO薄 膜的晶体结构、透光性及禁带宽度进行了研究。结果表明，随着Mg含量的增加，Mg．rZn1--xO薄膜仍然保持着 ZnO的纤锌矿结构，没有生成MgO相，Mg可以有效地溶入 ZnO的晶格中。MgxZn1--xO薄膜具有 良好的透光 性，在可见波段的光透过率达 85 以上；此外，随着Mg含量的增加，Mg~Znl--xO薄膜的吸收边出现蓝移现象， 禁带宽度从 3．30eV增大到 3．54eV。 关键词 超声喷雾热解法 Mg~Znl--xO薄膜 透光性 禁带宽度 CharacteristicsofM g~Znl一O ThinFilmsPreparedbyUltrasonic SprayPyrolysisM ethod CAOXinyan，WANG Hua，XU Jiwen，YANGLing，REN Mingfang (SchoolofM aterialScienceandEngineering，GuilinUniversityofElectronicTechnology，Guilin541004) Abstract DifferentMgcontentoflargebandgapM＆Zn1--xO(x=O，0．08，0．16，0．25)thinfilmsaredeposi— tedonquartzglassbyultrasonicspraypyrolysis(USP)method．X—raydiffraction(XRD)，scanningelectronmicroscopy (SEM)andspectrophotometermeasurementsareemployedtoanalyzethecrystallinity，opticalpropertiesandbandgap ofthefilms．Theresultsshow thatthefilmsremainZnO wurtzitestructureandhavenoanyimpurityphasewiththe increaseofM gcontent，andtheZn2。。aresuccessfullysubstitutedbyM inZnO lattice．Allthefilmshaveexecllent transparence，andtheaveragetransmittanceforthevisiblewavelengthregionismorethan85 ．Inaddition，thereisan obviousshiftoftheabsorptionedgetoshorterwavelength(buleshift)withtheincreaseofMgcontent．Inthemean— time，itsbandgapenergyincreasesfrom 3．30eV to3．54eV． Keywords ultrasonicspraypyrolysis，Mg~Zn1 0films，transmittance，bandgap 能电池以及紫外发光器件等方面具有广阔的应用前景[4]。 0 引言 射频磁 控溅 射 (RFMS)l8J、金 属有 机 物气 相外 延 近年来，由于紫外光电材料和器件潜在 的广 阔应用前