电沉积技术在制备纳米薄膜方面的应用.pdfVIP

· 66 · 材料导报 2012年 5月第 26卷专辑 19 电沉积技术在制备纳米薄膜方面的应用 郭燕妮 ，黄 丽 ，季常青 ，叶志勇 ，林志坚。 (1 厦门紫金矿冶技术有限公司，厦门 361101；2 厦门出入境检验检疫局，厦门 361026；3 珲春紫金矿业有限公司，珲春 133300) 摘要 综述了电沉积技术制备纳米薄膜的研究，介绍了电沉积技术制备纳米膜的基本工艺，讨论了电沉积技 术制备纳米薄膜的原理、分类、应用情况，阐述 了目前存在的问题 ，并对今后采用电沉积技术制备纳米薄膜的研究方 向提 出了一些建议 。 关键词 电沉积 制备 纳米薄膜 中图分类号：TQ153．1；TQ153．2 文献标识码 ：A Application0fElectr0dep0siti0n Technologyon PreparingNanometerFilm GUOYanni，HUANGLi，JIChangqing，YEZhiyong，LINZhijian。 (1 XiamenZijinMining＆MetallurgyTechnologyCo．Ltd，Xiamen361101；2 XiamenEntry-exitInspectionand QuarantineBureau，Xiamen361026；3 HunchunZijinMiningCO．，Ltd，Hunchun133300) Abstract Theprinciple，classificationandapplicationofe1ectrodepositontechnologyonpreparingnanometer film aremainlyintroducedandtheexistingproblemsaredescribed．Thebasicpreparationmethodsofelectr0depositon techonologyarealsodisscusedandtheresearchdirectionsofe1ectrodepositontechnologyonpreparingnanometerfilm areshowedbriefly． Keywords electrodeposition，preparation，nanometerfilm 纳米薄膜l】]是指 由尺寸在纳米量级的晶粒 (或颗粒)构 层 ，从几个原子层到几万个原子层厚度 ，而且整个 电沉积过 成的薄膜 ，或将纳米晶粒镶嵌于某种薄膜中构成的复合膜或 程易于计算机控制 ]，容易由实验室 向工业生产转变。因 共沉积形成的复合镀层 ，或者每层厚度在纳米量级的单层或 此，电沉积技术在制备纳米薄膜方面的应用研究越来越受到 多层膜 ，有时也称纳米 晶粒薄膜和纳米多层膜。由于其组成 人们的关注。 的特殊性，其表面的电子结构、晶体结构发生变化，会产生表 1 电沉积纳米薄膜技术 面效应 、小尺寸效应、量子效应和宏观量子隧道效应 ，从而使 其在磁性、非线性光学、光发射、光吸收、光电导、导热性、催 1．1 电沉积原理 化 、化学活性、敏感特性、电学及力学等方面表现 出独特的性 电沉积是在含有金属离子的镀液中，分别控制金属离子 能，如巨电导、巨磁 电阻效应、巨霍尔效应、可见光发射等。 的电沉积电位 ，使金属离子在相应 的电位下发生电化学还原 因此，纳米薄膜的应用越来越广泛 。纳米薄膜按其应用功能 而析出金属。在 电沉积过程 中，沉积层 的形成包括两个过 大致可分为以下几种 ：纳米光学薄膜 、纳米耐磨损膜与纳米 程：一是晶核的生成 ，二是晶核的成长。如果晶核的生成速 润滑膜 、纳米磁性薄膜 、纳米气敏薄膜 、纳米滤膜 、纳米催化 度大于晶核 的成长速度，则会在沉积层表面堆积大量 的晶 薄膜等 。