微光学元件面形的数字刀口检测技术.pdfVIP

第16 卷 第2 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol. 16 ，No. 2 2004 年2 月 HIGH POWER LASER AND PARTICLE BEAMS Feb. ，2004 文章编号： 1001-4322（2004 ）02-0137-04 微光学元件面形的数字刀口检测技术* 张 艳， 张蓉竹， 董 军， 张 均， 蔡邦维 （四川大学 光电科学技术系，四川 成都610064 ） 摘 要： 微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题。将传统的刀口检测技术进行数字化 改进后，用于微光学元件的面形检测，具有实时、定量、精度高的特点，在光学元件质量评价中有着重要意义。 介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理和实验装置，详细论述了对CCD 采集的阴影图进行 图像处理的关键步骤：（1 ）精确测定每个像素的暗场阈值所对应的刀口位置；（2 ）确定与像素相应的面形区域 的倾角误差；（3 ）对面形进行重构。最后结合具体实验进行了分析和讨论，实验所测得的面形误差为nm 量级。 关键词： 微镜列阵； 面形检测； 刀口检测； 数字化 中图分类号： TN247 ； TP211. 6 文献标识码： A 随着微光学元件加工技术的发展，提出了对微小面形进行检测的要求。微透镜阵列的每个单元直径小，排 列整齐，几何尺寸精度高，具有对光束准直、会聚、整形匀化、扩束、分束、分频和多通道成像等独特功能。微透 镜阵列在二维光信息处理、光计算、光互连网络、多通道傅立叶变换以及航天、制导、高速检测、惯性约束聚变 （ICF ）驱动系统中均有重要的应用价值。 鉴于微透镜阵列的广泛应用及其精密的微加工工艺，对微光学元件面形质量的检测评价是一个重要的课 题。检测光学元件面形质量的传统方法是干涉测量法，但是在微小尺寸的规则微透镜阵列上有不连续凹陷，使 得干涉图案受到衍射效应的显著影响，从而影响干涉仪对微透镜阵列进行精确的面形测量。而表面轮廓仪等 接触式测量，其空间分辨率受限于微探针的外形尺寸，并且探针划过被测表面时容易造成损伤，不宜用作微透 镜阵列的面形测量［1］。 对传统刀口检测技术进行数字化改进，将其用于微光学元件的面形检测，具有实时、定量、检测精度高的特 点。本文对数字化刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理，试验装置，图像处理方法进行了详细论述，并结 合具体实验进行了分析讨论。 1 测量原理 检测原理如图1 所示，以测试表面所在平面作为参考平 面建立坐标系（X ，Y，Z ），以透镜L （焦距为f ）的焦平面F 作 为观察平面（x ，y ，z ）。光源s 位于焦平面F 上，在被测表面形 成自准直光束，从被测表面反射回来的光束聚焦在焦平面F 。 被测表面的局部倾斜误差决定了反射光线在观察平面的位置 Fig. 1 Principle of the test （x ，y ）。假设在光轴上方，被测表面平行于标准平面，从T 点 图1 检测原理 反射的光经透镜L 后会聚于t 点；在光轴下方，被测表面有一 个局部变形，产生了一个相对于标准平面的倾斜角 ，使从U 点反射的光不再会聚于t 点而是会聚于u 点。若 α 认为被测表面在T 点处没有倾斜，则可以固定t 点为原点。在几何光线反射模型下，在观察平面，当刀口平行y 轴方向，沿x 轴切割时，在假设倾斜角 很小的情况下，测得u 点相对于t 点的距离x ，可得［2 ］ α 0 2 = arctan（x / f ） x / f