Nomarski棱镜的优化设计.pdfVIP

维普资讯 第34卷第5期 光电工程 V0I．34．No．5 2007年 5月 Opto-ElectronicEngineering M ay,2007 文章编号：1003—501X(2007)05—0079—05 Nomarski棱镜的优化设计 张思团，叶虎年，许忠宝 (华中科技大学 机械学院仪器系，湖北 武汉 430074) 摘要：Nomarski棱镜广泛应用于微计量检测系统，其应用特点在于将一束偏振光分解为两束振动方向彼此垂直的 偏振光，从而形成干涉成像。在构成的微分干涉相衬显微镜系统中，系统相干面的位置可以通过Nomarski棱镜的 结构参数来决定。本文根据相干平面与系统物镜焦面重合的准则，建立了棱镜各参数问的关系模型。在分析 Nomarski棱镜各参数关系基础上，利用计算机模拟了棱镜各参数的优化设计，绘制了相应参数问的关系曲线，为 棱镜的设计提供了理论依据． 关键词：Nomarski棱镜；微分相干；偏振光；相干平面 中图分类号：TH703 文献标识码：A ExcellentdesignofNomarskiprism ZHANGSi-tuan，YEHu-nian，XUZhong-bao (DepartmentofInstrumentation，InstituteofMechanicalEngineering,Huazhong UniversityofScienceandTechnology,Wuhan430074，China) Abstract：Nomarskiprismwaswidelyusedinmicro-measuresystem，andtheabilityofNomarskiprism isthatitcansplit abeam intotwoverticalpolarizedbeams，SOtheimagecomesfrom interference．Thepositionofthecoherenceplaneof theDifferentialInterferenceContrast(DIC)systembasedonNomarskiprism isdecidedbytheparametersofNomarski prism．Accordingtotheconfocalprincipleofcoherencefaceandtheobjectivelensofsystem，therelationshipmodelof allparameterswassetup．AllparametersofNomraskiprism wereanalyzed inthispaperand therelationship of praametersissimulatedbycomputer．Relationshipcurvesbetweencorrespondparameterswereplotted，whichprovides theprincipleinexcellentdesignoftheprism ． Keywords：NomraskiPrism；Differentialcoherence；Polraizedlight；Coherenceplane 引 言 Nomarski棱镜的光学特性主要由其结构参数决定，不同的结构参数应用于不同的显微系统。因此，合 理的设计选择Nomarski棱镜的光学结构参数尤为重要。 1 基本原理 图1所示是反射式微分干涉相衬显微镜的光学原理图，光源经聚光系统和起偏器后输出振幅为a的线 偏振光，设起偏器与检偏器夹角为 ，起偏器与 Nomarski