WDM用微镜片分光膜的镀制.pdfVIP

维普资讯 第29卷第5期 光电工程 Vo1．29，No．5 2002年 l0月 Opto—ElectronicEngineering OCt．2002 文章编号 ：1003—501X(2002)05-0062-03 WDM用微镜片分光膜的镀制 朱 瑾，黄 伟，张云洞 (中国科学院光 电技术研究所，四川I成都 610209) 摘要：主要介绍 了光纤波分复用 (WDM)中用的分光膜的批量镀制工艺。在大量实验基础上，对 比不同膜系及膜料的选择，重点介绍 了工艺流程中的镀制、监控、检测等主要环节。制备的微镜 片性能稳定，已经完全达到用户的需求。 ． 关键词：分光膜；镀膜技术；波分复用；微镜片 中图分类号：O484．1 文献标识码：A CoatingofBeam SplittingThinFilm onM icro-LensUsedinW DM ZHUJin， HUANGWei， ZHANG Yun—dong (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademy ofSciences，Chengdu 610209，China) Abstract：Thetechnology forbatch—coatingbeam splittingthin film used in wavelenght division multiplexing (WDM)ofopticfiberispresented．Onhtebasisoflargenumbersofexperiments， comparingthedifferentfilm systemsandtheselectionoffilm materials，htemainlinkssuchascoating， monitoringandinspectingofhtinfilmsduringhtetechnologicalprocessareemphaticallyintroduced． Thepropertyoftheprepraedmicro—lensisstableandhteyhavefullyfulfilledhteusers’demand． Keyword：Beam splittinghtinfilms；Coatingtechniques；W avelengthdivisionmultiplexing；M icro—lens 引 言 随着光纤通讯得到越来越广泛的运用，人们对光纤器件的性能、成本的要求越来越高。近年来发展起 来的波分复用 (WDM)使光通讯 向二维方向发展，即在 同一光纤中传输不同频率的光波，由此可以大大 提高通讯传输的信息量、降低通讯系统的生产成本。在波分复用中，光波的调制／解调器用来实现信号传输 中不同波长的合成和分解，是光通讯系统中的关键、核心器件n。另一方面，现今薄膜沉积设备和工艺技 术的提高，使人们能够进行高质量的多层介质膜的制备，能够研制各种滤光片、分光片，应用到滤波器和 其它器件 中。 目前光纤通讯中常采用的在长波段中的窗口波长分别是 131Ohm和 1550nm。我们生产尺寸大小为 3mm ×3mm)0．7mm的有精确分光比的微型分光片，要求光线45。入射时，在 1310~40nm的分光波段范围内， 它们的透过率为T=31-_4-1．5％。通过理论推导计算和长时间试验研制生产的不断改进和提高，目前基本上已 形成一套固定的生产镀制工艺流程，产品也完全能够满足客户的要求，并使生产具有一定的规模性。 1 原理及设计 介质分光膜 由于膜层几乎没有吸收，因此分光效率特别高。一般分光膜常用的设计为先找■个 M4膜 系，使其在中心波长处的反射率在正入射的情况下为所要求的值，再在膜系的前或后插入半波层