阿达玛变换成像光谱仪编码模板的设计与制作.pdfVIP

维普资讯 第3O卷 第4期 光 电工程 Vo1．30，No。4 2003年 8月 Opto—ElectronicEngineering Aug，2003 文章编号：1003—501X(2003)04-0053-03 阿达玛变换成像光谱仪编码模板的设计与制作 贾 辉， 李福田 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130022) 摘要：编码模板是阿达玛变换成像光谱仪的关键部件，用以代替入射狭缝和出射狭缝。根据编码 模板的构造原理，通过计算机生成二元伪随机序列码，用C语言根据编码方式生成图形文件，进 而光刻出编码模板。应用该方法可制作任意形状和大小，特别是码元数 目较大的编码模板，能实 现高分辨率的编码。 关键词：阿达玛变换成像光谱仪；编码模板；光刻 ． 中图分类号：TH744。1 文献标识码：A DesignandfabricationofencodingtemplateforHadamard transform imagingspectrometer JIAHui．LIFu-fian (ChangchunInstituteofOpt~s，FineMechanicsandPhysics，Changchun130022，China) Abstract：EncodingtemplateisakeycomponentofHadamardrtansform imagingspectrometer．Itis usedtO substitutetheincidentslitandexitslit．AccordingtOhtestructuralprincipleofhteencoding templateandgeneratingbinarypseudo—random sequentialcodebycomputer,pattern fileisgenerated wiht languageC basedonencodingmode，htustheencodingtemplateislihtographed。Theencoding template wiht nayshapesandsizes，especiallyhteencodingtemplatewiht largercodeelementsCna be fabricated．Inhtiswayhigh—resolutionencodingcanbecarriedout。 Keywords：Hadamardtransformimagingspectrometer；Codingtemplate；Lihtography 己Jll 言I=1 阿达玛变换成像光谱仪最早起源于 Golayit]的多狭缝静态光谱仪，主要是为了增加光谱仪的入射光通 量而采用了多狭缝，后来狭缝采用动态调制码 2【】，逐渐形成了阿达玛变换成像光谱仪 3【】。它可同时对被测 物体进行成像分析和光谱成份分析，具有入射光通量大，测量信噪比高的优点。在阿达玛变换成像光谱仪 中，编码模板4【】是关键部件。最初模板的制作是在玻璃上镀上一层铜，然后刻划出对应于循环码的条形码 嘲 ， 伪随机序列码是采用触发电路来发生的。随着计算机的广泛应用，镀膜技术、光刻技术的提高，使阿 达玛变换成像光谱仪编码模板的制作可以采用新的更精密、准确、快捷的方法。本文从制作方法的角度详 细说明了阿达玛变换成像光谱仪编码模板的设计和制作过程。 1 编码模板的构造原理 阿达玛变换光谱仪是在传统的光谱仪中，用编码模板代替入射狭缝和出射狭缝，其原理如图 l所示。 被照明物体经过物镜成像在光谱仪的入射狭缝处，编码模板对物体的像编码，编码后的像进入光谱仪，在 出射狭缝上物体的像是经过色散的物体的光谱像，再经编码