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光电工程
维普资讯
27卷第 3期 光 电工程 Vol_27． No．3
2000l 6 0DtO—ElectronicEnmineerin June．2000
文章编号：1003—501X(2000)03—0004一O4
仁彳白光相移干涉申频谱对测量精度的影响
夏立峰，周明宝： (=) 。／
(1．扬州市广播电视大学宝应分校 ．江苏 宝应 ，225800
2．中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，四Jr『成都 610209)
摘要：在相移干涉中有时采用白光干涉来扩走深度测量范围，白光光源的使用，缩短了光束的相
干长度 ，降低 了测量精度。本文从干涉理论 出发推导 了白光相移干涉法测量三维表面形貌的计算
公式，通过数值积分的方法分析 了干涉光频谱对测量精度 的影响 分析表明，在 白光相移干涉测
量 中表面形貌的蒯l量精度与中心波长和频谱宽度有关．白光频谱越 宽，测量精度越低，中心波长
越走，测量精度越 高。
关键词 ：相移干涉术 白先干涉术；频谱 ；面形测量；测量精度
。 。 。 ’ _ - ● 。 。 。 - - 。 一 ● _ _ 。 _ 。 。 一
_ - 。
中图分类号 ：0436．1 文献标识码 ：A
TheInfluenceofSpectrum inW hiteLightPhase-Shift
Interferenceon M easuringAccuracy
XIA Ii—feng。．ZHOU M ing—bao
(1_Baqving Branch Yangzhou MunuipalBroadcasting
TelevisionUniversity．Yangzhou 225800，China；
2．StateKeyLaboratoryt1fOpticalTechnolog3 ／or
Mioo‘fabrication，InstituteofOpticsandElectr~mics，
ChineseAcademyofS(iellce5，Chengdu610209，China)
~,bstract：Sometimeswhite light interference is applied to enlargementofdepth measurkng
rangeinphase—shiftinterference．Theusageofwhitelightsourceshortensthecoherencelength
ofbeam andreducesthemeasurlngaccuracy．Startingfrom theinterferermetheory，thepaper
derivestheformulaeforcalculating3-D surfaceprofilemeasuredwithwhitelightphaseshift
interferometry．The influenceoftheinterferenel
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