薄反射镜主动光学实验系统.pdfVIP

第36卷第6期 光 电工程 、，0l-36．NO．6 2009年 6月 Opto—ElectronicEngineering June，2009 文章编号：1003—501X(2009)06—0120—06 薄反射镜主动光学实验系统 李宏壮 ，王建立 ，林旭东 1,2，刘欣悦 ，陈宝刚 ，韩 昌元 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：用口径400mm、厚 12mm的薄反射镜作为实验镜进行了主动光学实验。支撑系统由背部 12个主动支撑点 和3个固定支撑点组成，主动支撑点采用由压电陶瓷促动器和压力传感器组成的力促动器，用于控制实验镜面形， 固定支撑点用于控制实验镜的定位。通过 Shack-Harmaun 波前传感器测量镜面面形并拟合 出Zemike像差，用阻 尼最小二乘法计算出校正力，通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程。通过主动校正，将初始支撑状态下 的1．162(2=632．8nm)RMS面形精度校正到 O．07iRMS，优于镜面抛光后的0．12RMS。 关键词：主动光学；Shack．Harmann波前传感器；力促动器； 阻尼最小二乘法； 中图分类号：0439；TH751 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2009．06．024 ActiveOpticsExperimentSystem withThin-mirror LIHong．zhuang ，WANG Jian．1i，LIN Xu．dong一， LIU Xin．yue ，CHEN Bao．gang ，HAN Chang．yuan (1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences，BeOing100039，China) Abstract：Activeopticsexperimentwascarriedoutwitha400mm diameter,12mm thicknessmirror．Thesuppo~ system ofthemirrorincludes12activesuppo~pointsand3fixedsupportpoints．Theactivesuppo~wasimplementedby forceactuator,whichwascomposedofpiezoelectricceramicsactuatorandloadcel1．Theactivesuppo~pointswereused forcontrollingthesurfaceofthetestmirror,andthefixedpointswereusedofrpositioningthemirror．Themirrorsurface wastestedbyShack—Hartmannwavefrontsensor，theactivecorrectiveforcewascalculatedthroughdampleastsquare method，andtheprocessofexertingforceoftheactuatorwascontrolledbyPID algorithm．Theinitialsurfaceerroris 1．162(=632．8nm)RMS．Afteractivecorrection，th