按需滴定法制备掺杂型聚合物微透镜阵列.pdfVIP

维普资讯 第33卷第9期 光电工程 Vo1．33，No．9 2006年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sep，2006 文章编号：1003—501X(2006)09—0048—04 按需滴定法制备掺杂型聚合物微透镜阵列 李同海，胡宝文，焦国华，王丽莉，李育林 (中国科学院西安光学精密机械研究所，陕西 西安 710068) 摘要：采用MMA单体与其聚合物 PMMA及掺杂剂的混合溶液，以按需滴定法制备了掺杂若丹 明6G 的微透镜阵列。并对其焦距一致性、成像效果、表面粗糙度、透射光谱和荧光光谱等光学 性能进行了测试。焦距不均匀度不超过 1．8％，测定数值和理论值相差不到 1．7％。表面热处理后 表面粗糙度肋 小于0．9nm，光学透过率从近紫外到近红外都在90％rX上，可以用于光纤放大器和 生物化学传感器。 关键词：微透镜阵列；按需滴定；若丹明6G；表面粗糙度 中图分类号：TN256 文献标识码：A Fabricationofdopedpolymermicrolensarray usingdrop-on-demandtechnology U Tong-hai，HUBao-wen，JIAO Guo-hua，WANG Li—li，LIYu—Ijn (XianInstituteofOpticsandPrecisionMechanicsoftheCAS,Xian710068，China) Abstract：TheRhodamine6G doped microlensarraywasfabricated usingthesolutionofMethyl Methacrylate (MMA)monomerandPolymethylMethacrylate (PMMA)mixture．Andtheoptical characterofthemicrolensarrayssuchas focallengthuniformity，imagingeffect，surfaceroughness，the transmittancespectrum nadfluorescespectrum etalhasbeentested．Thenon—uniformiyt islessthna 1．8％．Theerrorofthetestedvalueandtheoryvalueisnomorethna 1．7％．ThesurfaceroughnessRais lessthna 0．9nm afterthesurfaceheatprocessingathigh temperature．Theopticaltransmittanceof microlensisveryhigh(90％)forvisiblenadNearInfraredfNIR)wavelength，andcanbeusedasfiber amplifierandopticalfiberbio-chemicalsensor． Keywords：M icrolensarray；Drop-·on-·demand；Rhodamine6G；Surfaceroughness 引 言 微小型光学和微光学(miniatureopticsandmicro—optics)是近30年来光学领域新兴的一门前沿性分支学 科，发展非常活跃¨J。微透镜阵列已经成为自由空间光学、微光学、集成光学的主要器件之一，主要用于 光准直、光耦合、CCD成像等领域。制备透镜的材料主要有光学玻璃，溶胶一凝胶和高分子聚合物等。由 于聚合物材料具有固有的高负热光系数、塑性强、易于制造、重量轻、价格低廉、数值孔径大、易于耦合 等优点。目前，用聚合物制备微透镜阵列倍受关注LzJ，制备方法有光刻蚀热熔法，质子深度刻蚀法，激光 直接写