原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光电工程
维普资讯
第34卷第4期 光电工程 Vo1．34，No．4
2007年4月 Opto—ElectronicEngineering April，2007
文章编号：1003—501X(2007)04-0128-04
凹球面网栅激光直写实时控制方法
梁凤超 一，胡 君 ，续志军
【1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033t
2．中国科学院研究生院，北京 100039)
摘要：提出一种基于Dua1．Po~edRAM (DPARM)fi~凹球面网栅激光直写实时控制方法。采用计算机与PMAC双
CPU主从并行、双向通讯和即存即取的控制方法，开发了多层嵌套并行工作程序，使计算机与PMAC实时处理、
交换、显示大量控制参数和状态信息，实现了实时控制激光直写凹球面网栅。在1：7径200ram、半径 150mm的涂
覆感光胶玻璃凹球面基底上，激光直写出了100~m周期网栅．微米级读数显微镜测量结果表明，网栅均匀，周期
误差小于4-3％，达到设计要求。
关键词：凹球面网栅；激光直写；实时控制；PMAC；DPRAM
中图分类号：TP273 文献标识码：A
Rea1．timecontrolmethodforlaserdirectwritingmesh
ontheconcavesphericalsubstrate
LIANG Feng-chao，‘_
， HUJun，XUZhi-jun
(1．ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhys~s,
theChineseAcademyofSciences,Changchun130033，China；
2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Beijing100039，China)
Abstract：Real-timecontrolmethodforlaserdirectwritingmeshontheconcavesphericalsubstrateWaSbroughtforward
inthispape~ThemethodWaSbasedonDual-PoaedAR M (DPAR M)andWaS accomplishedbyadoptingthecontrol
methodofdualCPUs’(computerandPMAC)parallelrunning，bi-directioncommunication，exchnagingdataor
commandsimmediately,andalsobydevelopingtherelevna tnestingprograms．Consequently,htecontrolparametersand
thestateinformationbetweenhtecomputernadPMACcouldbedealtwiht，exchna gedanddisplayedreal-timely．So，hte
real-timecontrolmethodofrlaSerdirectwritingmesh onhteconcavesphericalsubstratewasrealized．Aftercoating
un
文档评论（0）