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光电工程
第35卷第 12期 光电工程 Vo1．35，No．12
2008年 12月 Opto-ElectronicEngineering Dec，2008
文章编号：1003,501X(2008)12—0122—04
凹球面网栅光刻控制算法零点误差分析
梁凤超
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春 130033)
摘要：为分析并避免参考零点误差对凹球面光刻恒定曝光量控制算法的影响，建立了零点误差与扫描线速度、扫
描弧长关系的数学模型并给出了关系曲线。分析得出：参考零点俯仰定位误差会造成部分线条宽于理想值，其余
线条窄于理想值，且线宽呈单调变化；参考零点水平定位误差会造成实际扫描弧长短于或长于所需值，造成凹球
面部分边缘无线条以致网栅缺失。凹球面网栅光刻设备俯仰轴和方位轴采用光电轴角编码器作为反馈元件，采取
速度 、位置双闭环控制，实现了参考零点的精确定位，确保 了恒定的扫描线速度和精确的扫描弧长，制作出了合
格的凹球面网栅。
关键词：凹球面；网栅；光刻；控制；误差分析
中图分类号：TP273，TN305．7 文献标志码：A
AnalysisofZeroPositionErrorInfluencingonControlAlgorithm
forFabricatingM eshontheConcaveSphericalSubstrate
byPh0t0lith0graphyTechnology
LIANG Feng-chao
(ChangehunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China)
Abstract：Foranalyzingandavoiding the influencesresulting from zeroposition errorofcontrolalgorithm for
conrtollingtheexposuredoseinvariablyonhteConcaveSphericalSubstrate(css)viaphotolihtographytechnology,the
mathematicalmodelsandrelationcurvesofzeropositionerrorversusscanninglinearvelocityandarclengtharededuced
andgivenrespectively．Afteranalyzingtherelationcurves，theinfluencesresultnigrfom zeropositionerrorraeobtained
asfollows：verticalzeropositionerrorcauseshtatlinewidthofpartsoflinesraewiderornarrowerthanidealvaluenad
linewidthchangemonotonically,andthelevelzeropositionerrorcausesthatactualscanningraclengthislongeror
shorterhtna requiredvalue，whichresultsinpartsofedgeofhteCSSlackingoflinesevengnds．Theopto—elecrtonic
encodersareadoptedasfeedbacksensorofverticalna dlevelaxes，nadthevelocityandpositiondualclosed-loopconrtol
methodistaken，whichrealizesthezeropositioningprec
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