测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法.pdfVIP

维普资讯 第 31卷第6期 光电工程 Vo1．31，No．6 2004年 6月 tO—Electronic Enzineerin June，2004 文章编号：1003—501X (2004)06—0034—03 测量薄膜折射率的光栅衍射干涉方法 黄佐华，何振江，杨冠玲 (华南师范大学物理系，广东 广州 510631) 摘要：根据光的干涉理论，讨论 了条纹周期数对测量薄膜折射率不确定性的影响，推导出干涉条纹 错位量与薄膜折射率和厚度的关系式。由此提出采用光栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法和实验 方案。实验表明：该方法的干涉条纹测量精度达 10～2／20，薄膜折射率测量精度可达0．0l以上。 关键词：折射率测量；薄膜折射率；光栅衍射干涉 中图分类号：0484．5 文献标识码：A Gratingdiffractioninterferometryformeasuringfilm refractiveindex HUANGZuo-hua，HEZhen-jiang，YANGGuan-ling (DepartmentofPhysics，SouthChinaNormalUniversity， Guangzhou510631，China) Abstract：Theinfluenceoffring~periodsonuncertaintyoffilmrefractiveindexarediscussedaccording tOopticalinterferencetheory．Therelationalcompressionsamonginterferencefringesdisplacement，film refractive indexandthicknessraederived．Forthesereasonsweproposedmethodsandschemefor measuringfilm refractiveindexwithgratingdiffractioninterferometry．Theexperimentsshow htathte measuringaccuracyforinterferencefringeswith thismethod isuptO 1／10—1／20wavelenght nadhte measuringaccuracyofrfilm refractiveindexismorethan0．01． Keywords：Refractivitymeasurement；Film refractiveindex：Gratingdiffractioninterferometry 引 言 折射率是薄膜的重要光学参数之一，精确测量各种形态薄膜折射率仍然是关键的技术问题 。测量薄膜 折射率的主要方法有椭圆偏振法¨j、棱镜耦合法 和光度法 等，它们都存在一定的测量精度和测量范围的 局限性。当薄膜折射率与基底折射率相接近时，如玻璃表面的SiOz薄膜，这些方法存在较大的测量误差， 准确度不够高M】。目前，以玻璃为基底的各类薄膜越来越多 。为此，根据光的干涉原理，从理论上得到干 涉条纹错位量与薄膜的折射率和厚度的关系，讨论了条纹周期对测量薄膜折射率的影响。提出一种利用光 栅衍射干涉测量薄膜折射率的方法 ，它与基底的折射率大小无关，光路简单，调节和测量过程方便。测量 干涉条纹精度达 10～2／20，若薄膜厚度不太小时，测量薄膜折射率精度达到0．01以上，能满足一般薄膜的 测量要求 。可以测量透明或不透明基底上的透明膜 、半透明膜 以及各向异性膜的折射率。在光电器件 、半 导体材料 、光学元件 、显示器件和有机薄膜等领域有广泛应用 。 1测量原理 光栅衍射干涉法的测量光路如图1所示，实质为杨氏双孔干涉光路。图 1中两点源 t和 之间的距 收稿日期I2004-08-l8； 收到修改稿 日期I2004—03一I4 基金项 目I广东省工业攻关项 目(C60109)