高精度快速光栅光谱扫描波长定位方法研究.pdfVIP

第37卷第7期 光 电工程 Vo1．37，No．7 2010年 7月 Opto—ElectronicEngineering July,2010 文章编号：1003—5OlX(2010)07—0086—06 高精度快速光栅光谱扫描波长定位方法研究 黄晋卿，黄梅珍，王 龙，施嫂嫂 (上海交通大学 物理系 光学工程研究所，上海 200240) 摘要：传统光栅扫描式光谱仪器由于机械结构的限制，无法达成高精度扫描和高速扫描的统一。本文针对电机直 接驱动光栅的扫描结构，提出了一种采用激光、位置敏感探测器PSD以及底面为正多边形的棱柱反射扫描镜的全 新主动光电扫描反馈光栅角度位置的结构和方法，目的是在保证快速扫描的同时，利用主动光源经多面反射镜反 射形成光斑在PSD上的扫描，从而精确传感和反馈光栅的转动来确保波长扫描的精度。系统由步进电机直接带动 光栅快速转动产生扫描光谱，由激光器、PSD和多面反射扫描镜构成主动式光栅角位置反馈系统，对光栅转角进 行高精度快速测定，保证系统的扫描精度和速度，初步实验取得了比较满意的结果。 关键词：光栅扫描光谱；电机直接驱动；波长精度；PSD；正多边形棱柱反射镜 中图分类号：0433．1；TN253 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2010．07．O17 QuickandHighAccuracyWavelengthSetting M ethodforGratingSpectrometer HUANG Jin-qing，HUANGM ei-zhen，WANG Long，SHIM an-man (InstituteofOpticalEngineering,Departmentof尸 ics，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Forthestructurelimitoftraditionalwavelengthscanningsystemsbasedonscrewmandrelandstepmotor,they cannotsimultaneouslyworkbothaccuratelyandquickly．A new activeopto--electricalfeed-b·ackmeasurementsystem basedonlaser,positionsensitivedetectorandmultilateralprism mirrorisproposedinthispaper．Thegratingisdrivenby a step motor directly and itsrotationalposition ismeasured accurately by theactive opto-e·lectricalfeed-b·ack measurementsystem．Thepurposeofthenew strategyistomakethewavelengthscanningsystem worknotonlyaccurate butalsoquick．Theelementaryexperimentalresultsaresatisfied． Keywords：rgatingscanningspectrum；stepmotordrivendirectly；wavelengthaccuracy；PSD；multilateralprism mirror 0 引 言 光谱的波长测量范围、波长分辨率、波长准确性和重复性、以及测量速度等是光谱仪器重要的性能指 标，其中，波长测量范围、波长分辨率和测量速度之问往往相互制约，存在矛盾，如何实现更宽波长范围、 更高分辨率和更快速度的光谱测量是光谱学及光谱仪器测量学研究的重点和难点之一…。 目前，空间分光型的光谱仪器，从结构上主要分为两大类：一是扫描式、二是阵列式。 扫描式的