动态随机球的标定误差与测量次数的关系.pdfVIP

第39卷第3期 光 电工程 Vbl3‘9．NO．3 2012年 3月 Opto-ElectronicEngineering March 2012 文章编号：1003—501X(2012)03—0083—05 动态随机球的标定误差与测量次数的关系 陆黎明 ，2 伍 凡 ，侯 溪 ，李 良红 (1．中国科学院光电技术研究所，成都 610209； 2．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘要：本文介绍了随机球标定技术的原理。针对随机球标定方法的两种方法(静态法和动态法)，本文分别分析了 两种方法的标定误差与测量次数之间的关系。依据数理统计原理和合理的假设，理论分析表明静态法是一种特殊 的动态法。两种方法的标定误差随测量次数增加呈 ^厂 递减。针对动态法，本文进行了动态法随机球标定实验。 实验结果表明，动态法的标定误差与测量次数之间近似符合^厂 规律。 关键词：随机球；标定误差；测量次数 中图分类号：TN201；TN247 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003．501X．2012．03．015 TheRelationbetweenResidualErrorandtheNumberof M easurementsintheRandom BallTest LU Li．m ing ，W U Fan ，HOU Xi，LILiang．hong1 (1．InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China； 2．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Bering100049，China) Abstract：Theprincipleoftherandom balltesttechnology isintroduced．Therearetwotypesofrandom balltest technologies．Oneiscalledstaticmethod；theotheriscalleddynamicmethod．Therelationbetweencalibratingerrorand thenumberofmeasurementsinthesetwomethodsisanalyzedseparately．Basedonstatisticsandreasonableassumption， theanalysisshowsthatstaticmethodisoneofthespecialdynamicmethods．Inbothofthesetwomethods，thecalibrating errordropsoff asAr withthenumberofmeasurementsincreases．Theexperimentofrandom balltestisdoneusing dynamic method．The experimentresultshows thatthe calibrating errordropsoffasⅣ “with the number of measurementsincreasingapproximately． Keywords：random ball；calibratingerror；numberofmeasurements 0 引 言 随机球标定技术是针对球面光学元件的绝对测量技术之一 J【J。该技术先利用随机球标定出干涉仪标准 镜头参考面误差，然后将被测光学元件表面的干涉测量值减去参考面误差，得到被测光学元件表面的绝对 测量值。该技术发展初期，主要研究的是在随机球静止状态下测量随机球表面的随机球标定技术(本文简称 “静态法”，即单次干涉仪测量过