原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光电工程
第36卷第2期 光电工程 Vo1．36，No．2
2009年2月 Opto—ElectronicEngineering Feb，2009
文章编号：1003—501X(2009)02—0029—05
多层薄膜光学常数的椭偏法研究
徐均琪，冯小利
(西安工业大学 光电工程学院，西安 710032)
摘要：研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程，并对一未知多层光学薄膜进行 了椭偏分析，建立了
substrate／film1／EMA／film2／srough的物理结构模型。采用椭偏法，在首先确定出基底光学常数的基础上，提出了从
单层、双层、三层逐次建模拟和的分析方法。研究结果表明：对于透明或弱吸收光学薄膜，采用柯西公式可以较
好表征材料的色散关系。椭偏分析最终得到的未知薄膜基本结构为 G(1．52)／2．0312(203．0nm)1．4636(170．1nm)
2．079lf170．4nm)／A，膜系设计及分光光度计测量的透射光谱证实了这一结果。对多层膜厚度和光学常数的分析
表明，椭偏法仍然是一种行之有效的薄膜光学常数测量方法。
关键词：薄膜；厚度；光学常数；椭偏测量
中图分类号：0484．5 文献标志码：A
OpticalConstantsofM ulti-layerThinFilmsInvestigated
bySpectroscopicEllipsometry
XUJun-qi，FENG Xiao-li
(SchoolofOpto-electronicEngineering,朋’anTechnologicalUniversity，Xi’an710032，China)
Abstract：Thefittingmodelofmulti—layerthinfilmsni ellipsometryanalysiswasestablished．Anunknownfilm was
investigatedandthephysicalstructuremodelofsubstrate／film 1／EMA／film2／sroughwasapplied．Basedonspectroscopic
ellipsometryafterdetermniinghteopticalconstantofthesubstrate，themodelingmethodofnicreasedlayersfrom snigle
to3-layerwasprovided．TheresultsindicatehtathteCauchy dispersionmodelisavailableforopticalrtansparentor
weak—absorptionthinfimls．ThestructureoftheunknownfilmwasfittedwithamodelofG (1．52)，2．o312(203．0rim)
1．4636(170．1nm)2．0791(170．4nm)／Abyellipsometryanalysismehtod，andhteresultwasconfimredbyhte
rtansmissionspectnmafrom aspectrophotometer．Thenaalysistoopticalconstantna dfilm thicknessalsoshow htathte
ellipsometryiseffectiveformulti—layerhtinfiml snaalysis．
Keywords：thinfilm；htickn ess；opticalconstant；specrtoscopicellipsometry
0 引 言
薄膜的厚度和光学常数是膜系设计、材料研究和薄膜制备中不可缺少的参数，椭圆偏振法是测量薄膜
厚度和光学常数的一
文档评论（0）