跟踪式偏振光三角法测头.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 12期 光电工程 Vo1．34，No．12 2007年 12月 Opto—ElectronicEngineering Dec，2007 文章编号：1003—501X(2007)12—0049—05 跟踪式偏振光三角法测头 赵 敏，邱宗明，郭彦珍，刘宏昭 (西安理工大学 机械与精密仪器工程学院，陕西 西安 710048) 摘要：针对三角法测量的不足，设计了一种跟踪式偏振光三角法测头。对三角测量法的理论分析表明减小测量范 围能提高测量精度。测头结合表面跟踪方法与三角测量法，跟踪使测量范围不受限制；仅在小范围内进行三角法 测量，测量精度大大提高 对金属表面的反射特性进行了分析和推导，得出镜面反射与漫反射具有不同的偏振特 性。通过偏振滤光减少了镜面反射光对测量的影响，从而降低 了对被测表面材质的要求。本文给出了测头结构和 工作原理 试验表明，测头能测量镜面反射较强的金属表面，测头可 自动跟踪表面，并可结合测距仪实现表面形 状的高精度测量。 关键词：跟踪；三角法；偏振光；表面面形 中图分类号：TN247 文献标志码：A POlarizatiOn—lighttriangulationtrackingprobe ZHAOMin，QIUZong—ming，GUOYan—zhen，LIUHong—zhao (SchoolofMechanicalInstrumentalEngineering， anUniversityofTechnology，Xian710048，China) Abstract：A polarization—lighttriangulationtrackingprobeisdesignedtoovercometheshortcomingoftriangulation measurement。Thetheoreticalanalysesoftrianug lationmethodprovethatmeasurementprecisioncanbeimprovedby reducing measurementrnage．The proposed method combines surface rtacing method with triangulation method。 Measurementrangeislimitlessbyrtacking。M easurementprecision isimprovedgreatlyby triangulationmeasurement only insmallrna ge．AnalyzingandderivingthereflectionpropertyofmetalsurNce，dift~rentpolarizationproperties betweenmirrorreflectionnaddiffusereflectionraeobtained。Polarization—li曲tfilteringisusedtoreducethebadeffectof mirrorreflectionlighton measurement，SO asto lowerthematerialchraacteristicdemand ofmeasured surNce。The structurenadtheworkingprincipleoftheproberaedescribedinthispaper．Itisprovedthattheprobecanmeasuremetal surfaceofhighmirrorreflection．Inhteexperiment．theprobecanrtack surfaceautomatical