光栅刻划中工作台过冲现象的改善.pdfVIP

第40卷第 10期 光 电工程 V01．40．NO．10 2013年 10月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2O13 文章编号：1003—501X(2013)10—0090—05 光栅刻划中工作台过冲现象的改善 王忠坦，倪争技，洪瑞金，黄元申，张大伟 (上海理工大学 光电信息与计算机工程学院，上海 2000931 摘要：在分度运动控制系统中以DMC2210控制卡为核心，采用光栅尺为分度运动反馈器件，实现了高精度的实 时监测反馈。针对工作台 “过冲”现象进行 了两方面的分析优化：一方面，分析了步进电机减速方式对刻划效果 的影响，通过分段减速初步改善了-72作台 “过冲”现象；另一方面，分析并模拟了弹簧(联接工作台和分度丝杠螺 母)刚度对X-．作台 “过冲”问题的影响，更换大刚度弹簧后，很大程度改善了工作台 “过冲”现象。改进后对光栅 刻线密度为79dmm的中阶梯光栅进行了多次刻划试验，计算的机器分度精度均在 5nln以内，选取其中一组较 好的数据(机器分度精度为2．887nm)与之前多次刻划试验 中较好的一组数据 (机器分度精度为 7．759nm)进行了比 较，结果表明刻划机分度精度得到很大的提高。 关键词 ：光栅尺；过冲；弹簧刚度；分度精度 中图分类号：TH74 文献标志码 ：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2013．10．015 ImprovingthePhenomenonofW orkbench’S OvershootintheGratingProcess WANGZhongtan，NIZhengji，HoNGRuijin，HUANGYuanshen，ZHANGDawei (SchoolofOptical-ElectricalandComputerEngeneering， UniversityofShanghaifo，ScienceandTechnology，Shanghai200093，China) Abstract：Ahi曲precisionclosed-loopcontrolpositioningsystemtakingtheDMC2210cardasacontrolcoreisdesigned， whichuseslinearencoderasfeed—backcomponenttorealizetheprecisepositioningofindexingmovement．Theanalysis andoptimizationpointingtothephenomenonofworkbench’Sovershootisca~iedoutintwopans．Onepart，therelation between steppingmotor’Sdeceleration andrulingprecision isanalyzed，and then thephenomenon ofworkbench’S overshootisoptimizedpreliminarilybythestepwisedeceleration’Sstyle．Theotherpart，theinfluenceofspring’Sstiffness onworkbench’Sovershootproblem isanalyzedandsimulated．Afterthechangeforspringwithstrongerstiffness，the indexerrorcausedbyworkbench’Sovershootphenomenonisimprovedlargely．Aftertheimprovements，extensivetests onurlin