光栅莫尔条纹细分及辨向方法研究.pdfVIP

维普资讯 第34卷第 1O期 光 电工程 Vo1．34，No．10 2007年 1O月 Opto—ElectronicEngineering Oct．2007 文章编号：1003—501X(2007)10—0045—05 光栅莫尔条纹细分及辨向方法研究 何安国，喻洪麟，朱传新，王远干 (重庆大学 光电技术及系统教育部重点实验室，重庆 400044) 摘要：提出了一些新的基于教字处理技术的莫尔信号细分及辨向方法。单光栅副莫尔条纹采用差值细分方法；双 光栅副莫尔条纹采用乘积细分法。将信号进行区间划来实现辨向。实验采用 DSP器件内置的高速 A／D模块实现 数模／转换，利用 DSP专用指令实现信号的滤波、细分和辨向。实验结果表明，单光栅副和多光栅副的细分精度 分别为 3”和 0-3”。 关键词：莫尔条纹；教字信号处理器；计量光栅 中图分类号：TN911．72 文献标志码：A SubdivisionanddirectionjudgmentofgratingMoir6fringes HEAn-guo，YU Hong-lin，ZHU Chuan-xin，WANG Yuan-gan (KeyLaboratoryofOptoelectronicTechnologyandSystemsoftheEducationMin~tryofChina， ChongqingUniversity,Chongqing400044，Chn／a) Abstract：Basedonthedigitalprocessing，somenewmethodswereputforwardforsubdivisionanddirectionjudgment ofM oir6fringes．Moir6fringesofonecoupleofgratingsadoptedmeansofdifferencesubdivision，whileM oir6rfingesof doublecoupleofrgatingsmadeuseofthemehtodofproductsubdivision．Intervaldivisionofsignalswascarriedoutto judgedirection．Thisexperimentadoptedhigh·speedbuilt·inA／DmodulesofDSPdevicestorealizeanalog／digital conve~ionandDSPspecializedinstructiontorealizedigiatlfiltering，subdivisionanddirectionjudgment．Theresults showthatonecoupleofrgatingsanddoublecoupleofgratingsare3arcsecand0．3arcsecrespectively． Keywords：Moir6fringes；digitalsignalprocessor；metrologyrgatings 引 言 计量光栅技术近年来在精密仪器、超精加工、数控机床等领域得到了广泛的应用 J。它的基本原理是 将直线或角度位移量转化为莫尔条纹信号，再对条纹信号进行细分和计数，从而得到位移量。莫尔条纹信 号处理技术是计量光栅技术中的关键技术，包括细分和计数两部分。常规位移测量计数法属于硬件计数法。 在光栅单方向移动或缓慢变向时，可以正确计数。但由于适应性差、抗干扰的能力不足，因而当光栅的移 动情况比较复杂时，就有可能发生丢数或多计数现象 引。随着 A／D转换周期的缩短和数字信号处理器件 性价比的提高，采用软硬件结合的数字细分及辨向方法成为取代传统细分方法、提高系统稳定性的一条有 效途径。 1 光栅