光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论.pdfVIP

第37卷第4期 光电工程 V0l1．37．NO．4 2010年 4月 Opto—ElectronicEngineering April，2010 文章编号：1003—501X(2010)04—0141—06 光栅衍射特性的耦合波分析、计算与讨论 蔡 托，桑 田，赵 华 (黔南民族师范学院 物理与电子科学系，贵州 都匀 558000) 摘要：本文从麦克斯韦方程组及电磁场边界条件出发，推导了广泛应用于各类光栅衍射问题的矢量分析方法一一 严格的耦合波分析方法。针对光栅的衍射特性，编写了基于严格的耦合波分析方法的计算程序，并以TE模情形 为例对光栅的衍射效率和收敛性作了数值计算。结果表明，当谐波数不断增加，即便对于厚光栅(／1O)情形， 光栅的衍射效率仍将收敛于某一确定值。 关键词：衍射光栅；严格的耦合波分析方法；衍射效率；收敛性 中图分类号：0437．4；TN253 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003—501X．2010．04．027 Coupled-waveAnalysis，NumericalCalculationand DiscussionforDiffractionPropertiesofGrating CAITu0，SANG Tian，ZHAO Hua (Departmentof ics，QiannanNormalCollegeforNationalities，Duyun558000，Gu~houProvince，China) Abstract：Rigorouscoupled—waveanalysismethodbasedonvectortheory analysisisderivedanddiscussedbyusing Maxwellequationsandelectromagneticboundary conditions．A generaldiffractionanalysisnumericalcodebasedonthe RigorousCoupled—waveAnalysis(RCWA)iswrittenSOastodesing andanalyzethediffractionpropertiesofgrating，and thediffractionefficiencyandtheconvergenceoftheRCWA areinvestigatedfortheTEmode．Thecalculateddiffraction efficiencyisshowntoconvergetothecorrectvaluewithanincreasingnumberofspaceharmonicsoverawiderangeof parameters，includingverydeepgratingsfd／2l0)． Keywords：diffractiongrating；rigorouscoupled-waveanalysis；diffractionefficiency；convergence 0 引 言 近年来，由于二元光学的出现，极大地丰富了光学元件的种类，它以结构紧凑、重量轻、设计灵活、 易于复制等优点在越来越多的领域中得到了广泛的应用 l【J。二元光学的理论基础是光的衍射理论，El前， 光栅的标量衍射理论已较为成熟，但它只适用于表面结构特征尺寸远大于入射波长的光学元件。当表面结 构尺寸与入射波长相当时，标量衍射理论的假设条件已经不能满足，这时就需要采用电磁矢量衍射理论来 分析研究光栅的衍射特性 J。 严格的耦合波分析方法是一种电磁矢量衍射理论，其处理过程可以归结为求解从麦克斯韦方程组出发 并结合相应边界条件的微分方程组 j【qJ。它能够对光栅的衍射特性做 出严格精确的描述，因而被广泛应用于 光栅的分析设计中p曲J。采用多层近似的方式，该方法能够将任意面形光栅的光栅区域分为若干 占空比不同、 但周期相同的矩