感光溶胶—凝胶法制备光波导薄膜微图案.pdfVIP

第38卷第 l1期 光电工程 、，01．38．NO．11 2011年 11月 Opto—ElectronicEngineering Nov,2011 文章编号：1003—501X(2011)11—0068一O5 感光溶胶一凝胶法制备光波导薄膜微图案 徐真武，徐 键，徐清波，董建峰 (宁波大学 信息科学与工程学院，浙江 宁波 315211) 摘要：利用溶胶一凝胶法制备了有机一无机杂化光敏性SiO2．TiO2材料，在单晶硅基片上旋转涂膜，经前烘、紫外光 固化 、淋洗、后烘等步骤，在硅片上得到复制有掩模微图案的薄膜。用紫外．可见光 近红外分光光度计测试了薄 膜的光透过吸收性质，用Fourier红外光谱仪测试了不同紫外光辐照时间下薄膜的红外振动吸收光谱，用高倍光学 显微镜和扫描电子显微镜(sEM)观察制备得到的薄膜微图案。结果表明：薄膜在紫外可见光区域的光透过率约为 90％，紫外光照能促使不同的官能团间发生缩聚反应，80~C前烘温度处理以及 15min左右的紫外光辐照能够得到 清晰、精确的薄膜微图案。 关键词：溶胶．凝胶法；光敏材料；微图案；紫外光固化 中图分类号：0484 文献标志码：A doi：10．3969~．issn．1003—501X．2011．11．013 FinePatterningofOpticalW aveguideFilmsFabricatedby Ph0t0sensitiVeSol-gelProcess XUZhen-wu，XUJian，XUQing—bo，DONGJian-feng (CollegeofinformationScienceandEngineering，NingboUniversity，Ningbo315211，Zh~iangProvince，China) Abstract：Organic—inorganichybridPhotosensitiveSiO2一TiO2materialsweresynthesizedbyasol—gelprocess．Thehybrid filmsweredepositedonsilicaglasssubstratesandsiliconwafersbyspin·coating．Aftertheprocessofprebaking，UV-light exposureand postbaking，thefilmswith thesamepatterningofmaskwereobtained．TheOpticaltransmittanceand absorptionofhybridfilmsweremeasuredwithaultraviolet--visible--nearinrfaredspectrometer．Theirinrfraedspectraof filmsatdifferentUV irradiationtimeweremeasuredwith Fourierinrfared specrtometer．Thesurfacemicro—structures preparedwereobservedbyopticalmicroscopywithahigh—resolutionCCD cameraandScanningElecrtonMicroscope (SEM)．Theresultsshowthatlighttransmittancesofhtehybridfilmsarenearly90％inthevisibleandnearinrfaredrange andUV curinghasaneffectofproducingthephotopolymerizationofmethacrylatespecies．Beingprebakedat80~C and irradiatedwithUV lightfor15minutes