基于环氧树脂硅烷的平面光波导的制备与表征.pdfVIP

第 38卷第 5期 光 电工程 、，0138．NO．5 2011年 5月 Opto—ElectronicEngineering M ay,2011 文章编号：1003—5OlX(2Ol1)05—0075—05 基于环氧树II~t‘i~。烷的平面光波导的制备与表征 徐真武，徐 键 ，徐清波，董建峰 (宁波大学 信息科学与工程学院，浙江 宁波 315211) 摘要：采用无水溶胶．凝胶合成方法，以二苯基二羟基硅烷(Diphenylsilanediol，DPSD)~Y一缩水甘油醚氧 内基三 甲 氧基硅烷(Y—glycidoxypropyl—trimethoxysilane，GPTS)J3先驱体，制备出有机一无机杂化光波导材料，并在石英玻璃 基片上旋涂制得平面光波导薄膜。用Abbe折射仪测试薄膜的折射率，用紫外一可见光一近红外分光光度计测试了薄 膜的光吸收性质，用Fourier红外光谱仪和 Raman光谱仪测试了薄膜的红外振动吸收光谱和 Raman散射光谱并讨 论 了材料结构，并用棱镜耦合法测试平面光波导在 632．8nm波长下的光传输损耗 结果表明：控制DPSD的加入 可以调节薄膜的折射率(1．461～1．481)；薄膜在可见光和近红外区域的光透过率在9O％以上：平面光波导的光传输 损耗 约为 0．26dB／cm。 关键词：无水溶胶一凝胶法；平面光波导；有机一无机杂化；光传输损耗 中图分类号：TB34；TN25 文献标志码：A d0i：】0．39690．issn．1003—50lX．2011．05．014 SynthesisandCharacterizationofEpoxysilane—based PlanarOpticalW aveguide XUZhen-wu，XUJian，XUQing-bo，DONGJian-feng fCollegeofinformationScienceandEngineering，NingboUniversiO,，Ningbo3152l1，ZhejiangProvince，China) Abstract：Organic—inorganichybridopticalwaveguidematerialswerepreparedbynon—hydrolyticsol—gelprocess，using diphenylsilanediol(DPSD)andgamma—glycidoxypropyltrimethoxysilane(GPTS)asprecursors．Theplanaroptical waveguide filmsweredeposited on silica glasssubstratesby spin—coating Rerfactive index．opticalabsorption or transmittanceofhybridfilmswasmeasuredwithanAbberefractometerandultraviolet—visible—nearinrfaredspectrometer, respectively．ThestructurecharacteristicofthefilmswasdiscussedwiththeirRalnanandinrfaredspectrawhichmeasured withFourierinrfaredspectrometerandRamanspectrometer．Opticalpropagationlossofhybridfilm atlengthof632．8nm wasmeasuredbyusingoftheprismcoupledmethod．Theresultsshowthatrerfactiveindexofthefilmscouldbeadjusted bycontrol