集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备.pdfVIP

第36卷第8期 光 电工程 Vo1．36，No．8 2009年 8月 Opto—ElectronicEngineering August，2009 文章编号：1003—501X(2009)08—0143—04 集成光学陀螺环形谐振腔的优化设计与制备 郭丽君，石邦任，赵 猛，吕 昊，赵振明，陈 晨 (长春理工大学 物理系，长春 130022) 摘要：利用广角有限差分光束传播法(w —BPM)对集成光学陀螺(IOG)用掺锗的二氧化硅光波导环形谐振腔进行了 优化设计，详细分析了谐振腔的主要性能参数精细度，与各种损耗及光强耦合系数的关系。在优化设计基础上， 在硅基底上利用等离子体增强型化学汽相沉积(PEcvD)法与反应离子刻~k(RIE)制作 了掺锗的 SiO2光波导环形谐 振腔。经测试，在 1550nlTI波长处，光波导传榆损耗为 0．02dB／cm，环形谐振腔 内总传输损耗仅为 0．1dB／circuit， 可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。 关键词：光学陀螺；SiO2光波导；环形谐振腔 中图分类号：TN629．1 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003-501X．2009．08．027、 OptimalDesignandFabricationofRingResonatorin OpticalW aveguideforIoG GUOLi-jun，SHIBang-ren，ZHAOMeng，El3Hao，ZHAOZhen-ming，CHENChen (DepartmentofPhysics，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022，China) Abstract：OptimaldesignofringresonatorinsilicaopticalwavengideforIntegrationOpticalGyroscope(IOG)is presentedbyusingWideAngleBeamPropagationMethod(WA—BPM)．Furthermore，relationshipamongthefniesseof ringresonator,thetotallossandthepowercouplingratioisanalyzed．Onthebaseofoptimaldesign，wefabricatedSiO2 opticalwaveguideringresonatormixedGeinPlasmaEnhnacedChemicalVaporDeposition(PECVD)method．Bytesting at2=1550nnl，propagationlossandtotallossofringresonatorare0．02dB／cm andO．1dB／circuit，respectively,which canofferacademicreferencefortheintergationopticalgyroscope’Smicromationna dhighprecision． Keywords：opticalgyroscope；SiO2opticalwaveguide；ringresonator 0 引 言 集成光学陀螺(IntegrationOpticalGyroscope，IOG)是光纤陀螺和激光陀螺的进一步小型化u、微型化， 随着集成光学技术的发展受到人们极大的关注 。与激光陀螺相比它解决了闭锁问题LzJ，与干涉式光纤陀螺 相比，达到同样的灵敏度的情况下，集成光学陀螺需要的波导长度要短得多。光波导环形谐振腔是集成光 学陀螺的核心敏感部件，其性能直接影响光学陀螺系统的性能，是此种陀螺设计与制造的关键技术。同时 它也是构成其他一些集成光学器件的重要组成部件，如环形激光器、光滤波器、波分复用 ／解复用器和频谱 分析仪等。本文讨论了光波导环形谐振器的