球面投影光刻物镜的设计.pdfVIP

第36卷第 1期 光电工程 、，o1．36．No．1 2009年 1月 Opto-ElectronicEngineering Jan，2009 文章编号：1003—501X(2009)01—0093—05 球面投影光刻物镜的设计 赵立新，张雨东，王 建，戴 云，高洪涛，董小春，饶学军 (中国科学院光电技术研究所，成都 610209) 摘要：针对人工晶体或隐形眼镜的面形上连续浮雕结构加工的特点，本文介绍了基于空间光调制器(DMD)曲面投 影光刻物镜系统的设计方法。根据其成像面为曲面的特点，根据光学设计理论多次利用弯向物方的弯月形负透镜 结构进行场曲校正，同时运用光的衍射原理优化设计物镜系统的数值孔径以消除 DMD投影过程中的栅格效应。 运用ZEMAX工程光学设计软件对系统进行了模拟、优化，并对优化后的结果进行了分析。对于设计实例利用上 述设计原则给出了设计结果，X-作波长为g线(峰值波长2=436nm)，像面曲率r=22．5rnlTl，视场 6nlnl，数值孔 径NA=0．1，分辨力为7．8~n(64lpm／m)时的光学调制传函值0．8，畸变土0．05％。 关键词：球面光刻；投影物镜；DMD；光学设计 中图分类号：TN305，TB851 文献标志码：A DesignofSphericalSurfaceImagingProjectionLithographyLens ZHAo Li—xin，ZHANGYu—dong，WANGJian，DAIYun， GAOHong-tao，DONGXiao-chun，RAOXue-jun (InstituteofOpticsandElectronics，ChineseAcademyofSciences，Chengdu610209，China) Abstract：Referringtothefabricationcharacteristicsofthree—dimensionalcontinuousmicrostructureontheintraocular lensorcontactlens，themethodfordesigningsphericalsurfaceimagingprojectionlithographylenswasintroducedbased onthespatialopticalmodulatorsuchasDigitalMirrorDevice(DMD)．Accordingtocharacteristicsoftheprojectionlens， theimage—surfacewasspherical，andthefieldcurvaturewascorrectedbythenegativelens．Accordingtothediffraction theory,thenumericalaperturewasoptimizedinordertoeliminatetheDMD structureeffect．Integratedwiththegridof DMDimaging，projectionlensweresimulated，designedandoptimizedbyusingZEMAXopticaldesing software，andthe optimizedresultswereanalyzed．Forhtedesignedexample，itsworkingwavelengthisg-line(436nrn)，radicalcurvautre ofimagingsurfaceis22．5111111，imagingareais 6l12m，numericalapertureNA=0．1，MTF0．8attheresolutionof7．8 gm(64lpm／m)．anditsdistortion 士0．05％． Keywords：spheri