曲面保护高里程加速度传感器阻尼特性研究.pdfVIP

维普资讯 第33卷第9期 光电工程 v0I．33．No．9 2006年 9月 Opto—ElectronicEngineering Sep，2006 文章编号：1003—501X(2006)09一OI38—07 曲面保护高同量里程怔加J／U速度传感器阻尼特性研究 杨尊先 ，李昕欣2，于 (1．福州大学 电子科学与应用物理系，福建 福州 350002； 2．中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海 200050) 摘要：利用有限元模拟方法，对一种高量程MEMS加速度计进行 10万g正弦加速度脉冲下的动 态冲击响应分析。首先，建立适用于该器件 曲面阻尼的分段近似叠加理论模型；随后，采用ANSYS 有限元模拟技术分别研究器件阻尼带隙宽度及其阻尼介质特性对器件动态冲击响应特性的影响。 器件动态冲击响应实际上是受迫振动与传感器悬臂梁固有频率振动的叠加。当阻尼带隙较小时， 输出结果表现为冲击载荷下的受迫振动响应；随着阻尼带隙变宽，悬臂梁固有频率振动渐突显， 响应峰值电压也近线性增加，而峰值电压所对应时间则非线性减小。在其它条件相同情况下，阻 尼介质粘滞系数越大，响应输出曲线越光滑，但其峰值电压也相应越低。在空气阻尼介质中，过 载保护曲面的平移距离控制在 0．5—0~65pro 范围内，以获取较好的动态响应效果。 关键词：高g加速度传感器；压膜阻尼；曲面过载保护；冲击响应 中图分类号：TP212 文献标识码：A Dampingcharacteristicsofahighgaccelerometer withcurvedstopprotection YANG ZUN—xianl LIXIN．xin ，YU Yingl ， (I．DepartmentofElectronicsScienceandAppliedPhysics，FuzhouUniversity，Fuzhou350002，China； 2．ShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationTechnology， theChineseAcademyofSciences，Shanghai200050，China) Abstract：Thedynamicresponseofapiezomsistivehighg’SMicroElectromechanicalSystem (MEMS) accelerometerunderasinepulseofaccelerationwith 100，000gspeakwassimulatedbyusingFinite ElementMethod(FEM)．Firstly，amulti—segments—plates—approximatemodelofcurvedsurfacedamping suitableforthiscomponentWas established．Subsequently，theeffectsofdampinggapwidthandthe characteristicsofdamping mediaon thedynamicshockresponseofcomponentWas studiedwith ANSYSFEM technology．Resultsshow thatthedynamicresponsesofcomponentwereinfactthe su