全数字化激光直写转台系统.pdfVIP

维普资讯 第 31卷第 5期 光电工程 Vo1．31，No．5 2004年 5月 Opto—ElectronicEngineering May,2004 文章编号：1003．501X(2004)05．0001．03 全数字化激光直写转台系统 梁宜勇 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘要：为提高极坐标激光直写设备的性能，设计成全数字化的转台系统，增强了与平台、调焦、 光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程 PID控制及变周期稳速判据等概念，并应用于转台 控制器设计。配合改进的快速光强调制系统，使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和 变宽线条的能力。 关键词：激光直写；转台系统； 微光学 中图分类号：TH703 TN256 文献标识码：A Anall—digitalrotatingplatform system forlaserdirectwriter LIANG Yi-yong (StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstruments，Zh~iang University，Hangzhou310027，China) Abstract：Inordertoimprovetheperformanceofapolar—coordinatelaserdirectwriter(PLDWs)，anall— digitalrotatingplatform system isdesigned．Thisunitenhances itssynchronization with platfomr ， focusingandlightintensityconrtolsystem．Theideassuchasdigitalphase—lockedintegration，program— mablePID controlandvariablecyclespeed stabilizingcriterionetc，areproposedandappliedtothe design ofthecontrolofrotatingplatform system．W．ithhtehelp ofadvancedrapid lightintensity modulation system，thePLDW shasthecapabilityofmanufacturingaccuratering，rabirtaryraCand variablelinewidth． Keywords：Laserdirectwriting；Rotatingplatform system；Micro—optics 引 言 激光直写设备是加工微细线条或图形的一种有效工具，按照定位能力分，可分成直角坐标和极坐标两 种，也有混合型 ¨的 。 极坐标激光直写设备一般仅用于制作旋转对称线条或图形，比如圆形光栅、菲涅尔透镜等 。其中的转 台系统所具有的稳定度和精确性，直接影响加工线条的优劣 (线宽均匀性、回转封闭精度等)，故要求转 台系统高精度化 。此外，受设计及理念限制，极坐标型激光直写设备无法或难于制作非环类线条，比如直 线 、任意长弧线、精确螺线及连续离焦弧线等。而一些新兴器件或加工手段却具有潜在要求，比如基于波 导的集成光学陀螺 、微机械加工中轴对称的槽 、孔或渐宽线槽等。将转台系统全数字化可以兼顾高精度和 多功能的需要，同时有助于激光直写设备的可靠性和小型化。 为满足激光直写转台系统的高精度要求，相关领域的学者进行过各种方案的研究。浙江大学戴旭涵 等 采用较为先进的M／T法提取转速脉冲信号，通过 FⅣ 频压转换成模拟信号，然后对偏差值进行模拟 PI运算，最后以PW