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一般工业技术
孙钦密：涡流位移铸感器灵敏度铡量值的不确定度译定
涡流位移传感器灵敏度测量值的不确定度评定
孙钦密
(河南省计量科学研究院，河南 郑州450008)
摘 要：本文依据涡流位移传感器的测量原理，通过分析测量结果的各不确定度分量，进而合成标准不确定度，对传感器灵敏度的测量结果进行分析，为涡
流传感器测量位移数据提供判断依据。
关键词：涡流位移传感器 ；灵敏度 ；原理；不确定度；评定
中图分类号：TB9 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55
M easurementUncertaintyEvaluationtotheSensitivityof
EddyCurrentDisplacementSensors
SunQinII1i
1 引言 的相对合成不确定度的表达式为 ：
涡流位移传感器是将机械振动量转换为成比例的模
㈤： ：耋(cI ()z (4)
拟电气量的机电转换装置，由探头和前置放大器二部分 = =
组成，探头对着被测物体表面，但并不接触，留有一定的 ) 巫=
u。(s)=()(e)+(骞)(，)+(赛)(口)=
间隙，传感器的头部线圈与谐振电容、前置器内的石英振 lJ 1I
荡器，构成高频电流振荡回路，在头部线圈周围产生高频 ( )2／,／2(e)+( )2u2(f)小 )2U2(口)
交变磁场。当磁场范围内出现金属导体时，转子表面会 II
(5)
产生感应电流，即电涡流。电涡流的感应磁场反作用于
将上式左侧除以 2，右侧除以( )2
线圈的高频磁场，使线圈的阻抗发生变化，转子与探头之 ， 得到相对
=
间的间隙越小，电涡流就越大，线圈的阻抗就越大，电感 不确定度为：
量就越小。在振荡器激励电流参数，线圈参数，金属电导 u (s)= z(e)+4 f(厂)+ f(a) = (6)
率和磁导率都为常数的情况下，电感量是间隙 的单值 3 不确定度传播律
=
函数。测出电感量的变化，即可知道转子与探头的相对 f (s)= f(e)+4zrd‘2( + z(a) 2 (7)
位移变化。根据振动位移传感器检定规程要求，采用比 灵敏系数分别为 ：
较法，将被校传感器固定在标准振动台上，由振动台产生
一 个位移量，传感器将产生一个与位移成正比的电压输
出，通过数字电压表测量其输出电压，将输出电压与振动
量相比即得灵敏度。 4 标准不确定度评定
2 测量模型 4．1 测量重复性引入的相
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