不同工艺制备的高反射薄膜在真空与大气环境下的激光损伤特性.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ １２ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１２ 　 　 年 月 ， ２００９ １２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｄｅｃ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９１２１８２９０４ 　 不同工艺制备的高反射薄膜在真空与 大气环境下的激光损伤特性 ，， １２３ ２ ２ ２ １ 马 平 ， 陈松林 ， 胡建平 ， 王 震 ， 邵建达 　 　 　 　 　 　 （ 中国科学院 上海光学精密机械研究所，上海 ； 成都精密光学工程研究中心，成都 ； １． ２０１８００ ２． ６１００４１ 　 ３．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘 要： 建立了光学元件在真空环境下的激光损伤测量系统，采用电子束蒸发和离子辅助技术制备了 　　 　 　 ／ 高反射薄膜。对不同工艺制备的薄膜在真空与大气环境下的 波长的激光损伤阈值进行 ＨｆＯ ＳｉＯ １０６４ｎｍ ２ ２ 了测量，对薄膜的损伤形貌进行了观测。对薄膜的损伤特性研究分析结果表明：薄膜在真空环境中的损伤阈值 相对大气环境中有明显下降，其 １∶１测试和 Ｒ∶１测试损伤阈值下降约 ３０％；两种环境中的薄膜损伤特性也 不同，真空环境中损伤阈值的下降可能与热传导的不同有关。 关键词： 薄膜光学； 激光损伤； 大气环境； 真空环境； 高反射薄膜 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： Ｏ４８４．１ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 光学薄膜的抗损伤能力是制约激光系统向高功率、高能量方面发展的主要因素之一。随着空间技术的发 　　 展，激光系统的应用正在向外空间扩展。光学薄膜尤其是高反射薄膜是激光系统中极其重要的部分，这些薄膜 光学元件不仅工作在真空环境中，还需要满足激光高通量要求。因此，研究薄膜在真空中的损伤特性越来越重 ［ ］ １４ 要，包括德国航天中心、美国国家航天局（ ）等研究机构也已经开始了该方向的研究