RF+MEMS开关的力电耦合仿真分析.pdfVIP

维普资讯 第22卷 第 3期 青 岛大 学学报 (工程技 术版 ) VoL22NO．3 2007年 9月 JOURNALOFQINGDAOUNIVERSITY (ET) Sep．200 7 文章编号 ：1006—9798(2007)03—0060一O6 RFMEMS开关的力电耦合仿真分析 刘 肖，陈旭远 (厦 门大学物理与机 电工程学院 萨本栋微机 电研究中心，福建 厦 门361005) 摘要：设计了一种曲臂折合结构的固支梁式 RFMEMS开关。并用ANSYS有限元分析 软件对此结构模型及 3种基本的固支梁式 RFMEMS开关结构模型进行力 电耦合仿真 模拟。通过静态、模态分析，得出了不同开关结构的激励 电压、固有频率和阻尼 Q因子 。 通过谐振态分析和瞬态分析再现 了各结构开关在高频激励电压下的工作情况 ，并用 “位移 ／时间”表量化显示 了固支梁在单周期 内下拉、回复过程 中的运动轨迹。通过数值计算和 比较 ，结果表 明：曲臂折合式开关具有较低的下拉电压和较高响应速度 ，以及更稳定的工 作模态 。 关键词 ：ANSYS；RFMEMS；机电耦合 (力电耦合)；固支梁 中图分类号：TP271 文献标识码 ：A 射频电子机械系统器件 (RFMEMS)是指用于各种射频工程系统 中的微致动控制器件 ，微致动射频功 能器件 ，以及微致动射频耦合器件 。其中，RFMEMS开关是最基础、最关键 、应用前景最广泛 的MEMS器 件之一。它通过静电力对微桥或悬臂结构的上下运动进行控制，从而实现开关的开断特性 。从 电导特性上， RFMEMS开关可分为两大类 ，即：欧姆电阻接触式和电容耦合式。从机械结构上 ，它也可分为两大类 ，即： 悬臂梁结构 (Cantileverbeam)和固支梁(桥)式结构 (Fixed-fixed)。MEMS开关具有低差损、高绝缘、易于集 成及能处理大功率等特点口]。目前开关的研究集中在静 电驱动方式的研究上，从市场的商品来看，静电驱动 是最有希望 的RFMEMS的执行机构。静电执行器驱动的RFMEMS开关将成为下一代高频通讯的关键 部件口]。但 由于驱动电压较高和响应时间较长，给实际应用带来了诸多不变 。所 以对其进行力学模拟，在结 构参数上进行改 良设计 ，是制作高可靠低驱动电压开关的前提条件 。本文利用ANSYS有限元分析软件对 开关进行力、电学及其耦合模拟 。通过对不同结构的静态、模态、简谐振动和瞬态分析，从而得到了低电压、 高频响应开关 的优化结构。 1 机 电耦合理论 1．1 基本结构模型 固支梁 典型的固支梁结构电容耦合开关如图1所示 。桥膜部分 为矩形，悬浮于金属 电极和电介质之上，它距 电介质的初始距 离为 g。。当衬底上的激励 电极加载电压之后 ，电极与桥膜之 间形成一个可变电容。在静电力的作用下，桥膜发生 向下弹性 图 1 固支梁结构电容耦合开关示意 图 形变 ，造成间隙变小 ，电容值增大 。对于高频变化的射频信号 来说 ，其间容抗为 z一志 (1) 可以看出，此时电极和固支梁之间的容抗极小，从而形成通路 。信号 由桥膜传导致与地相连的固支梁，形成 收稿 日期：2007一O7—17 基金项 目：国家 自然科学基金项 目 作者简介：刘 肖(1982一)，男，天津人，硕士，主要从事 RFMEMS开关的结构设计 。 维普资讯 第 3期 刘 肖，等：RFMEMS开关的力电耦合仿真分析