AlN陶瓷氧化行为的研究.pdfVIP

，， ； 漕篇浔 ；： 、 ； ● ， 维普资讯 第 18卷 第2期 无 机 材 料 学 报 Vo1．18，No．2 2003年 3月 JournalofInorganicMaterials Mar．，2003 文章编号：1000—324X(2003)02—0337-06 A1N陶瓷氧化行为的研究 许昕睿，严伟林，庄汉锐，李文兰，徐素英 (中国科学院上海硅酸盐研究所，上海200050) 摘 要 ：探索了AIN 陶瓷在不同烧结气氛 、湿气及不同温度下的氧化行为和机理．结果表 明：湿气的存在显著地影响了AIN陶瓷的氧化行为，1225。C，AIN陶瓷在湿氮气、湿氮气 ：氧 气 =10：1及湿空气条件下的氧化遵循抛物线性规律，而干空气条件下遵循线性规律 ；空气中氧 化时，AIN陶瓷的氧化曲线在 1100~1300。C表现为线性，当温度超过 1300。C时，氧化曲线表 现出抛物线性的规律，其线性氧化过程的反应活化能为 233kJ／mo1． 关